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1. (WO2017031571) PROCESS CHAMBER SHIELDING SYSTEM AND METHOD
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Pub. No.: WO/2017/031571 International Application No.: PCT/CA2016/050675
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 13.06.2016
Chapter 2 Demand Filed: 31.03.2017
IPC:
C23C 16/24 (2006.01) ,B05D 5/00 (2006.01) ,C23C 14/22 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 16/24][IPC code unknown for B05D 5][IPC code unknown for C23C 14/22]
Applicants:
NOVENA TEC INC. [CA/CA]; 3980 14th Avenue, Unit 7 Markham, Ontario L3R 0B1, CA
Inventors:
MONTES, Rommel; CA
THIRU, Rajan; CA
THIRUN, Ravi; CA
Agent:
MBM INTELLECTUAL PROPERTY LAW LLP; 275 Slater Street, 14th Floor Ottawa, Ontario K1P 5H9, CA
Priority Data:
62/208,61322.08.2015US
Title (EN) PROCESS CHAMBER SHIELDING SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PROTECTION DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract:
(EN) A removable coating for protecting process chamber components from excess material resulting from operation of a process chamber. The removable coating including a sheet. A bonding surface of the sheet to be releasably bonded to a process chamber component to be protected. A deposition surface of the coating selected to receive and retain the excess material. In an aspect, the coating may further include a deposition layer bonded to a sheet surface in opposition to the bonding surface. The deposition layer providing the deposition surface. In some aspects the deposition surface may be provided of a different material from the process chamber component. In some aspects, and method and system are provided for protecting process chamber components.
(FR) L'invention concerne un revêtement amovible pour la protection de composants d'une chambre de traitement contre du matériau en excès provenant du fonctionnement d'une chambre de traitement. Le revêtement amovible comprend une feuille. Une surface de liaison de la feuille est destinée à être collée de façon amovible à un composant de la chambre de traitement à protéger. Une surface de dépôt du revêtement est choisie pour recevoir et retenir le matériau en excès. Dans un aspect, le revêtement peut en outre comprendre une couche de dépôt liée à une surface d'une feuille à l'opposé de la surface de liaison. La couche de dépôt fournit la surface de dépôt. Dans certains aspects, la surface de dépôt peut être réalisée en un matériau différent de celui du composant de la chambre de traitement. Dans certains aspects, l'invention concerne un procédé et un système pour protéger des composants d'une chambre de traitement.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)