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1. (WO2017003286) MULTIPLE HEATERS IN A MEMS DEVICE FOR DRIFT-FREE HREM WITH HIGH TEMPERATURE CHANGES
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Pub. No.:    WO/2017/003286    International Application No.:    PCT/NL2016/050462
Publication Date: 05.01.2017 International Filing Date: 30.06.2016
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Mekelweg 4 2628 CD Delft (NL)
Inventors: ZANDBERGEN, Hendrik Willem; (NL)
Agent: VOGELS, Leonard Johan Paul; (NL)
Priority Data:
2015055 30.06.2015 NL
Title (EN) MULTIPLE HEATERS IN A MEMS DEVICE FOR DRIFT-FREE HREM WITH HIGH TEMPERATURE CHANGES
(FR) RÉCHAUFFEURS MULTIPLES DANS UN DISPOSITIF À MEMS POUR HREM SANS DÉRIVE À CHANGEMENTS DE TEMPÉRATURE ÉLEVÉS
Abstract: front page image
(EN)The use of MEMS-based micro heaters for heating experiments in electron microscopy is known. Heating of a sample typically relates to a temperature increase or decrease of at least 50 K, and often at least 200 K. The present invention provides an improved heating system for use in an observation tool requiring low drift of < 0.2 nm/sec, such as an electron microscope, comprising two cooperating and integrated MEMS-based micro heaters (21,22) spaced apart at a mutual distance of less than 10 mm. A first heater is a master heater (21) and capable of receiving a first amount of power, a second heater is a slave heater (22) and capable of receiving a second amount of power, wherein the first and second amounts of power are in a range from 0 mW to the total amount of power. A thermometer is measuring the temperature of the master heater in use with an accuracy of better than ±10 mK, and a power controller prevents variation in the total amount of power received by keeping the total amount of power constant with an accuracy of better than ±5 pW and divides the total amount of power over the at least two heaters.
(FR)L’utilisation de microréchauffeurs à base de MEMS pour des expériences de chauffage en microscopie électronique est connue. Le chauffage d’un échantillon porte typiquement sur une augmentation ou une diminution de température d’au moins 50 K, et souvent d’au moins 200 K. La présente invention concerne un système de chauffage amélioré utilisable dans un outil d’observation nécessitant une faible dérive inférieure à 0,2 nm/s, par exemple un microscope électronique, comprenant deux microréchauffeurs (21, 22) à base de MEMS qui coopèrent et sont intégrés, séparés d’une distance mutuelle inférieure à 10 mm. Un premier réchauffeur est un réchauffeur maître (21) et peut recevoir une première quantité de puissance, un deuxième réchauffeur est un réchauffeur esclave (22) et peut recevoir une deuxième quantité de puissance, les première et deuxième quantités de puissance étant situées dans une plage comprise entre 0 mW et la quantité de puissance totale. Un thermomètre mesure la température du réchauffeur maître en utilisation avec une précision meilleure que ± 10 mK, et un contrôleur de puissance empêche la variation de la quantité de puissance totale reçue en maintenant la quantité de puissance totale constante avec une précision meilleure que ± 5 pW et divise la quantité de puissance totale sur les au moins deux réchauffeurs.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)