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1. (WO2016184670) SENSOR ASSEMBLY AND METHOD FOR DETERMINING RESPECTIVE POSITIONS OF A NUMBER OF MIRRORS OF A LITHOGRAPHY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/184670    International Application No.:    PCT/EP2016/059766
Publication Date: 24.11.2016 International Filing Date: 02.05.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G01B 11/14 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: HORN, Jan; (DE).
KRONE, Stefan; (DE).
BERGER, Lars; (DE)
Agent: HORN KLEIMANN WAITZHOFER PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ganghoferstr. 29a 80339 München (DE)
Priority Data:
10 2015 209 078.7 18.05.2015 DE
Title (DE) SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER JEWEILIGEN POSITION EINER ANZAHL VON SPIEGELN EINER LITHOGRAPHIEANLAGE
(EN) SENSOR ASSEMBLY AND METHOD FOR DETERMINING RESPECTIVE POSITIONS OF A NUMBER OF MIRRORS OF A LITHOGRAPHY SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DÉTECTEUR ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE LA POSITION RESPECTIVE DE DIFFÉRENTS MIROIRS D'UNE INSTALLATION DE LITHOGRAPHIE
Abstract: front page image
(DE)Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung einer jeweiligen Position einer Anzahl von Spiegeln (M1-M6) einer Lithographieanlage (100) bereitgestellt, mit: einer Anzahl von Positionssensorvorrichtungen (140), wobei die jeweilige Positionssensorvorrichtung (140) eine Messeinheit (201) zur Bereitstellung eines optischen Positionssignals einer Position eines Spiegels (M1-M6) bei Belichtung durch einen Lichtstrahl, eine Lichtquelle (203) zur Belichtung der Messeinheit (201) mit dem Lichtstrahl, eine Detektionseinheit (204) mit einer Mehrzahl von Photodetektoren (205) zur Ausgabe eines analogen elektrischen Positionssignals durch Detektion des bereitgestellten optischen Positionssignals und eine Signalverarbeitungseinheit (207) umfasst, welche zumindest einen A/D-Wandler (208) zum Wandeln des analogen elektrischen Positionssignals in ein digitales elektrisches Positionssignals aufweist, wobei zumindest die Lichtquelle (203) und die Signalverarbeitungseinheit (207) in einer in einem Vakuum- Gehäuse (137) angeordneten integrierten Baugruppe (200) vorgesehen sind, und einer Auswertevorrichtung (304) zur Ermittlung der Position des Spiegels (M1-M6) mittels des digitalen elektrischen Positionssignals.
(EN)The invention relates to a sensor assembly for determining a respective position of a number of mirrors (M1-M6) of a lithography system (100), comprising: a number of position sensor devices (140), wherein each position sensor device (140) comprises a measuring unit (201) for providing an optical position signal of a position of a mirror (M1-M6) when the measuring unit is illuminated with a light beam, a light source (203) for illuminating the measuring unit (201) with the light beam, a detection unit (204) having a plurality of photodetectors (205) for outputting an analog electrical position signal by detecting the provided optical position signal, and a signal-processing unit (207), which has at least one A/D converter (208) for converting the analog electrical position signal into a digital electrical position signal, wherein at least the light source (203) and the signal-processing unit (207) are provided in an integrated assembly (200) arranged in a vacuum housing (137); and an evaluating device (304) for determining the position of the mirror (M1-M6) by means of the digital electrical position signal.
(FR)L'invention concerne un dispositif détecteur destiné à la détermination d'une position respective de différents miroirs (M1-M6) d'une installation de lithographie (100), comprenant : un certain nombre de dispositifs détecteurs de position (140), le dispositif détecteur de position (140) respectif comprenant une unité de mesure (201) destinée à la génération d'un signal de position optique d'une position d'un miroir (M1-M6) lors d'une exposition à un faisceau lumineux, une source lumineuse (203) destinée à l'exposition de l'unité de mesure (201) au faisceau lumineux, une unité de détection (204) pourvue d'une pluralité de photodétecteurs (205) destinés à l'émission d'un signal de position électrique analogique par la détection du signal de position optique généré et une unité de traitement de signaux (207) qui présente au moins un convertisseur A/N (208) destiné à la conversion du signal de position électrique analogique en un signal de position électrique numérique, au moins la source lumineuse (203) et l'unité de traitement de signaux (207) se présentant sous la forme d'un ensemble intégré (200) logé dans un boîtier sous vide (137), et un dispositif d'évaluation (304) destiné à la détermination de la position du miroir (M1-M6) à l'aide du signal de position électrique numérique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)