(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Vorrichtung sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgebildet mit: Mikromechanische Vorrichtung (10) mit: einer Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i; 124) der Federeinrichtung (16) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14) ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516) mindestens einen Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i; 124) ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i; 220-i) sowie mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (22-i; 222-i; 522) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i; 220-i) verbreitert ist.
(EN) The invention relates to a micromechanical device and to a corresponding production method. The device is formed with a micromechanical device (10) comprising a spring device (16; 216; 316; 416; 516) which is coupled or can be movably coupled to a frame device (14) at at least one attachment point (24-i; 124) of the spring device (16); wherein the spring device (16; 216; 316; 416; 516) has at least one web (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) which extends from the at least one attachment point (24-i; 124), and the at least one web (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) is structured so as to have at least one first section (20-i; 220-i) and at least one widened section (22-i; 222-i; 522) for reducing a nonlinearity of the spring device (16), said widened section being widened compared to the first section (20-i; 220-i).
(FR) L'invention concerne un dispositif micromécanique ainsi qu'un procédé de fabrication correspondant. Le dispositif micromécanique (10) comprend : un dispositif ressort (16; 216; 316; 416; 516), lequel est accouplé ou peut être accouplé de manière mobile en au moins un point de liaison (24-i; 124) du dispositif ressort (16) à un dispositif cadre (14) ; le dispositif ressort (16; 216; 316; 416; 516) comprenant au moins un élément de liaison (18-i; 218-i; 318-i; 518-1), lequel s'étend à partir de l'au moins un point de liaison (24-i; 124) ; et l'au moins un élément de liaison (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) étant structuré de telle sorte qu'il comprend au moins une première partie (20-i; 220-i) ainsi qu'au moins une partie d'élargissement (22-i; 222-i; 522) pour réduire une non-linéarité du dispositif ressort (16), laquelle partie d'élargissement est élargie par rapport à la première partie (20-i; 220-i).