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1. (WO2016183874) DIGITAL PHASE SHIFT POINT DIFFRACTION INTERFEROMETER AND OPTICAL SYSTEM WAVE ABERRATION MEASURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/183874    International Application No.:    PCT/CN2015/080420
Publication Date: 24.11.2016 International Filing Date: 29.05.2015
IPC:
G01J 9/02 (2006.01), G01M 11/02 (2006.01)
Applicants: SHANGHAI INSTITUTE OF OPTICS AND FINE MECHANICS CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN/CN]; No.390, Qinghe Road, Jiading District Shanghai 201800 (CN)
Inventors: DAI, Fengzhao; (CN).
WANG, Xiangzhao; (CN).
TANG, Feng; (CN)
Agent: SHANGHAI XIN TIAN PATENT AGENCY CO., LTD.; Room1606, No.59, Nan Chang Road, Huangpu District Shanghai 200020 (CN)
Priority Data:
201510256096.2 19.05.2015 CN
Title (EN) DIGITAL PHASE SHIFT POINT DIFFRACTION INTERFEROMETER AND OPTICAL SYSTEM WAVE ABERRATION MEASURING METHOD
(FR) INTERFÉROMÈTRE À DIFFRACTION PONCTUELLE ET DÉPHASAGE NUMÉRIQUE ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION D'ONDE DE SYSTÈME OPTIQUE.
(ZH) 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法
Abstract: front page image
(EN)A digital phase shift point diffraction interferometer. The interferometer consists of a light source (1), a small-hole mask (2), a first spatial light modulator (3), a second spatial light modulator (6), a two-dimension photoelectric detector (8) and a computer (9). The first spatial light modulator (3) is configured as a raster by means of the computer (9), and serves as a splitter. The second spatial light modulator (6) is configured as a pin hole window mask, and serves as a filter for filtering diffraction orders except 0 order and +1 (or -1) order, so as to enable 0-order light to achieve diffraction by means of a pin hole (61) to generate a quasi-ideal spherical wave serving as a reference light wave, and +1 (or -1) order light serves as an object light wave by means of a window (62). The two light waves interfere, an interferogram is acquired, and an optical system wave aberration to be measured is extracted from the interferogram. Also provided is a method for measuring a wave aberration of an optical system using a digital phase shift point diffraction interferometer. A distance between an object light wave and a reference light wave at image plane convergent points is adjustable, and therefore great interference fringe density is achieved without reduction of an interference fringe contrast.
(FR)L'invention concerne un interféromètre à diffraction ponctuelle et déphasage numérique. L'interféromètre est constitué d'une source de lumière (1), d'un masque à petit trou (2), d'un premier modulateur spatial de lumière (3), d'un deuxième modulateur spatial de lumière (6), d'un détecteur photoélectrique bidimensionnel (8) et d'un ordinateur (9). Le premier modulateur spatial de lumière (3) est configuré en tant que trame grâce à l'ordinateur (9), et sert de diviseur. Le deuxième modulateur spatial de lumière (6) est configuré en tant que masque à fenêtre en trou d'aiguille, et sert de filtre pour filtrer des ordres de diffraction excepté l'ordre 0 et l'ordre +1 (ou -1), de façon à permettre à la lumière d'ordre 0 d'être diffractée grâce à un trou d'aiguille (61) pour produire une onde sphérique quasi idéale servant d'onde lumineuse de référence, et la lumière d'ordre +1 (ou -1) sert d'onde lumineuse d'objet grâce à une fenêtre (62). Les deux ondes lumineuses interfèrent, un interférogramme est acquis, et une aberration d'onde de système optique à mesurer est extraite de l'interférogramme. L'invention concerne aussi un procédé de mesure d'une aberration d'onde d'un système optique en utilisant un interféromètre à diffraction ponctuelle et déphasage numérique. Une distance entre une onde lumineuse d'objet et une onde lumineuse de référence aux points de convergence du plan d'image est réglable, et donc une grande densité de franges d'interférence est obtenue sans réduire le contraste d'une frange d'interférence.
(ZH)一种数字相移点衍射干涉仪,该干涉仪由光源(1)、小孔掩模(2)、第一空间光调制器(3)、第二空间光调制器(6)、二维光电探测器(8)及计算机(9)组成,通过计算机(9)将第一空间光调制器(3)设置为光栅,作为分光器件,将第二空间光调制器(6)设置为针孔窗口掩模,作为滤波器件,滤除除0级与+1或-1级以外的衍射级次,使0级光通过针孔(61)发生衍射产生准理想球面波作为参考光波,+1或-1级光通过窗口(62)作为物光波,两者发生干涉,获取干涉图,从干涉图中提取待测光学系统波像差。还提供了一种利用数字相移点衍射干涉仪对光学系统进行波像差测量的方法。通过物光和参考光在像面汇聚点之间的距离可调,在不降低干涉条纹对比度的情况下实现较大的干涉条纹密度。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)