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1. (WO2016183618) MEANS AND METHOD FOR 6 DEGREES OF FREEDOM DISPLACEMENT SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/183618    International Application No.:    PCT/AU2016/000176
Publication Date: 24.11.2016 International Filing Date: 20.05.2016
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), G01D 5/00 (2006.01)
Applicants: ROYAL MELBOURNE INSTITUTE OF TECHNOLOGY [AU/AU]; 124 Latrobe Street Melbourne, Victoria 3000 (AU)
Inventors: SMITH, Robert Masterson; (AU).
FUSS, Franz Konstantin; (AU)
Agent: MISCHLEWSKI, Darryl; IP Strategies PO Box 1254 Camberwell, Victoria 3124 (AU)
Priority Data:
2015901862 21.05.2015 AU
Title (EN) MEANS AND METHOD FOR 6 DEGREES OF FREEDOM DISPLACEMENT SENSOR
(FR) MOYEN ET PROCÉDÉ POUR CAPTEUR DE DÉPLACEMENT À 6 DEGRÉS DE LIBERTÉ
Abstract: front page image
(EN)A displacement sensor comprising at least 3 interferometers and a three dimensional mirror in which the three dimensional mirror is attached to a solid body and interferometer fixed components are independently attached to a solid body and displacement of a solid body to 6 DoF is derived from the displacement of the three dimensional mirror. The three dimensional mirror is mounted on one part of a solid body and the interferometer fixed components on another part of said solid body or a part of a different solid body so that movement of one part relative to the other can be measured to 6DoF. Three interferometers are preferably orthogonally arranged about a three dimensional mirror to derive displacement of the three dimensional mirror to 6 DoF. A method of measuring displacement of a solid body includes the steps of deriving the three 3 dimensional position vectors of the three dimensional mirror from the three 3 dimensional mirror normal angles and the three 3 dimensional mirror tilt axis angles obtained from the 3 interferograms, and the linear displacement and direction of linear displacement of the three dimensional mirror is derived from the direction of movement of the fringe lines across the 3 interferograms and the three dimensional mirror position vectors. A method of overcoming linear displacement errors in a first direction as a consequence of linear displacement in a second direction when using interferometers arranged about a three dimensional mirror to measure displacement to 6 degrees of freedom.
(FR)L'invention concerne un capteur de déplacement qui comprend au moins 3 interféromètres et un miroir tridimensionnel, celui-ci étant fixé à un corps solide et des éléments fixes d'interféromètre étant attachés de manière indépendante à un corps solide, et le déplacement d'un corps solide sur 6 degrés de liberté (DoF) est dérivé du déplacement du miroir tridimensionnel. Le miroir tridimensionnel est monté sur une partie d'un corps solide et les éléments fixes d'interféromètre sur une autre partie dudit corps solide ou sur une partie d'un corps solide différent, de telle sorte que le mouvement d'une partie par rapport à l'autre peut être mesurée sur 6 DoF. Trois interféromètres sont de préférence agencés de manière orthogonale autour d'un miroir tridimensionnel pour dériver le déplacement du miroir tridimensionnel sur 6 DoF. Un procédé de mesure de déplacement d'un corps solide comprend les étapes consistant à dériver les trois vecteurs de position tridimensionnelle du miroir tridimensionnel des trois angles normaux de miroir tridimensionnel et des trois angles d'axe d'inclinaison de miroir tridimensionnel obtenus par les 3 interférogrammes, et le déplacement linéaire et la direction de déplacement linéaire du miroir tridimensionnel est dérivée de la direction de déplacement des lignes de frange sur les 3 interférogrammes et les trois vecteurs de position de miroir tridimensionnel. L'invention concerne également un procédé permettant de surmonter des erreurs de déplacement linéaire dans une première direction, en conséquence du déplacement linéaire dans une seconde direction, lors de l'utilisation d'interféromètres agencés autour d'un miroir tridimensionnel pour mesurer un déplacement sur 6 degrés de liberté.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)