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Pub. No.:    WO/2016/181968    International Application No.:    PCT/JP2016/063894
Publication Date: 17.11.2016 International Filing Date: 10.05.2016
B01J 19/10 (2006.01)
Applicants: AIREX CO., LTD. [JP/JP]; 14-13, Tsubaki-cho, Nakamura-ku, Nagoya-shi Aichi 4530015 (JP)
Inventors: KAWASAKI, Koji; (JP)
Agent: MASE, Keichiro; (JP)
Priority Data:
2015-097821 13.05.2015 JP
(JA) パーティクル制御方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a particle control method in which control is maintained over the movement of an extremely small quantity of particles descending on the stream of a laminar flow within a clean zone through which the laminar flow streams, such as the interior of a RABS or isolator device, whereby the particles can be prevented from descending to specified positions, or can be induced to descend to specified positions. Acoustic radiation pressure generated by prompting ultrasonic vibration of an oscillation board, the surface of which is arranged generally parallel to the direction of the stream of the laminar flow. is utilized to keep the particle descent positions away from the surface of the oscillation board. Additionally, nodes of a standing wave field generated by ultrasonic vibration of two oscillation boards arranged with their surfaces facing one another are utilized to induce the particles in the direction of the nodes of the standing wave field. Further, particles are induced to an ultrasonic wave focal point by utilizing the focal point of ultrasonic waves generated by prompting ultrasonic vibration of four oscillation boards comprising two pairs arranged with their surfaces facing one another.
(FR)L'invention concerne un procédé de commande de particules dans lequel une commande est maintenue sur le mouvement d'une quantité très faible de particules descendant sur le flux d'un écoulement laminaire dans une zone propre à travers laquelle le flux laminaire s’écoule, de sorte que l'intérieur d'un RABS ou dispositif isolateur, de sorte que les particules puissent être empêchées de descendre à des positions spécifiées, ou puissent être amenées à descendre à des positions spécifiées. Une pression de rayonnement acoustique générée par induction d’une vibration ultrasonore d'un panneau d'oscillation, dont la surface est agencée de façon généralement parallèle à la direction du flux de l'écoulement laminaire est utilisée pour maintenir les positions de descente de particules à l’écart de la surface du panneau d’oscillation. De plus, des nœuds d'un champ d’onde stationnaire généré par vibration ultrasonore de deux panneaux d’oscillation agencés avec leurs surfaces se faisant mutuellement face sont utilisés pour induire les particules dans la direction des noeuds du champ d'onde stationnaire. En outre, des particules sont amenées à un point focal d'onde ultrasonore en utilisant le point focal d’ondes ultrasonores générées par induction de vibration ultrasonore de quatre panneaux d'oscillation comprenant deux paires agencées avec leurs surfaces se faisant mutuellement face.
(JA)RABSやアイソレーター装置の内部のようなラミナーフローが流れるクリーン領域内をラミナーフローの流れに乗って落下してくる極微量のパーティクルの動きを制御することにより、特定位置に落下させない、或いは、特定位置に誘導して落下させることのできるパーティクル制御方法を提供する。 ラミナーフローの流れ方向と略平行に盤面を配置した振動盤を超音波振動させて発生する音響放射圧を利用して、パーティクルの落下位置を振動盤の盤面から遠ざける。また、盤面を対向させて配置した2つの振動盤を超音波振動させて発生する定在波音場の節を利用して、パーティクルを定在波音場の節の方向に誘導する。更に、互いの盤面を対向させて配置した2対からなる4つの振動盤を超音波振動させて発生する超音波の焦点を利用して、パーティクルを超音波の焦点に誘導する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)