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1. (WO2016181919) ELECTROMAGNET DEVICE, ELECTROMAGNET CONTROL DEVICE, ELECTROMAGNET CONTROL METHOD, AND ELECTROMAGNET SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/181919    International Application No.:    PCT/JP2016/063698
Publication Date: 17.11.2016 International Filing Date: 09.05.2016
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP)
Inventors: OHASHI, Tomonori; (JP).
BARADA, Toshimitsu; (JP).
YAMASAKI, Hironobu; (JP).
KUDO, Misako; (JP).
SATO, Ichiju; (JP)
Agent: ONO, Shinjiro; (JP)
Priority Data:
2015-096248 11.05.2015 JP
2015-108160 28.05.2015 JP
2015-210872 27.10.2015 JP
Title (EN) ELECTROMAGNET DEVICE, ELECTROMAGNET CONTROL DEVICE, ELECTROMAGNET CONTROL METHOD, AND ELECTROMAGNET SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ÉLECTROAIMANT, DISPOSITIF DE COMMANDE D'ÉLECTROAIMANT, PROCÉDÉ DE COMMANDE D'ÉLECTROAIMANT ET SYSTÈME D'ÉLECTROAIMANT
(JA) 電磁石装置、電磁石制御装置、電磁石制御方法、および電磁石システム
Abstract: front page image
(EN)This electromagnet device comprises a yoke that has an annular groove in the front surface thereof, an annular coil that is disposed in the groove, and an epoxy resin that is provided on the outer surface of the coil in order to secure the coil to the yoke, and a gap is provided between the outer peripheral surface of the groove in the yoke and the epoxy resin provided on the radially outside of the coil.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'électroaimant comprenant une culasse qui comporte une rainure annulaire dans sa surface avant, une bobine annulaire qui est disposée dans la rainure, et une résine époxy qui est disposée sur la surface extérieure de la bobine afin de fixer la bobine à la culasse, et un espace est ménagé entre la surface périphérique extérieure de la rainure dans la culasse et la résine époxy disposée sur l'extérieur radial de la bobine.
(JA)本発明に係る電磁石装置は、前面に環状の溝を有するヨークと、溝に配置される環状のコイルと、コイルの外面に設けられ、コイルをヨークに対して固定するエポキシ樹脂と、を有し、ヨークの溝の外周面と、コイルの径方向外側に設けられたエポキシ樹脂との間に隙間が設けられる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)