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1. (WO2016181644) IMPRINT APPARATUS, IMPRINTING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING PRODUCT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/181644    International Application No.:    PCT/JP2016/002271
Publication Date: 17.11.2016 International Filing Date: 09.05.2016
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: SATO, Hiroshi; (JP)
Agent: ABE, Takuma; (JP)
Priority Data:
2015-098491 13.05.2015 JP
Title (EN) IMPRINT APPARATUS, IMPRINTING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING PRODUCT
(FR) APPAREIL D'IMPRESSION, PROCÉDÉ D'IMPRESSION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides an imprint apparatus whose productivity is improved. An imprint apparatus for performing an imprint process such that an imprinting-material pattern is formed on a substrate by using a mold includes a detector that detects the imprinting-material pattern formed on the substrate, and a controller that controls the imprint apparatus. The controller enables an imprinting step and a detecting step to be performed in parallel such that the imprinting-material pattern is formed on the substrate by the imprint process in the imprinting step and the imprinting-material pattern formed on a substrate that differs from the substrate on which the imprint process is being performed is detected by the detector in the detecting step.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'impression dont la productivité est améliorée. Un appareil d'impression, permettant de mettre en œuvre un procédé d'impression de telle sorte qu'un motif de matériau d'impression est formé sur un substrat à l'aide d'un moule, comprend un détecteur qui détecte le motif de matériau d'impression formé sur le substrat, et un dispositif de commande qui commande l'appareil d'impression. Le dispositif de commande permet à une étape d'impression et à une étape de détection d'être effectuées en parallèle de telle sorte que le motif de matériau d'impression est formé sur le substrat par le procédé d'impression au cours de l'étape d'impression et le motif de matériau d'impression formé sur un substrat qui est différent du substrat sur lequel le procédé d'impression est en cours d'exécution est détecté par le détecteur lors de l'étape de détection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)