WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016180756) CONTACT-VIA-CHAIN AS CORROSION DETECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/180756    International Application No.:    PCT/EP2016/060286
Publication Date: 17.11.2016 International Filing Date: 09.05.2016
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 23/58 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Inventors: DIETZ, Franz; (DE).
SCHNEIDER, Daniel; (DE)
Priority Data:
10 2015 107 328.5 11.05.2015 DE
Title (DE) KONTAKTVIAKETTE ALS KORROSIONSDETEKTOR
(EN) CONTACT-VIA-CHAIN AS CORROSION DETECTOR
(FR) CHAÎNE DE CONTACTS ET DE TROUS MÉTALLISÉS EN TANT QUE DÉTECTEUR DE CORROSION
Abstract: front page image
(DE)Detektor (100) zur Bestimmung eines fehlerhaften Halbleiterbauelements (101) mit einem Halbleiterbauelement (101), einer Kontaktviakette (102), die lateral beabstandet zum Halbleiterbauelement (101) angeordnet ist und das Halbleiterbauelement (101) bereichsweise umschließt, einem Guardring (103), der lateral beabstandet zum Halbleiterbauelement (101) angeordnet ist und einer Auswerteeinheit (104), die auf dem Halbleiterbauelement (101) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (104) eingerichtet ist, eine elektrische Spannung an die Kontaktviakette (102) anzulegen, insbesondere eine dauerhafte elektrische Spannung, einen Widerstandswert der Kontaktviakette (102) zu erfassen und ein Ausgangssignal zu erzeugen, wenn der Widerstandswert der Kontaktviakette (102) einen Schwellenwert überschreitet.
(EN)The invention relates to a detector (100) for determining a faulty semiconductor component (101), comprising a semiconductor component (101), a contact-via-chain (102) which is arranged laterally at a distance to the semiconductor component (101) and surrounds the semiconductor component (101) in some regions, a guard ring (103) which is arranged laterally at a distance to the semiconductor component (101), and an evaluation unit (104) which is arranged on the semiconductor component (101), characterised in that the evaluation unit (104) is configured to apply an electrical voltage to the contact-via-chain (102), in particular a permanent electrical voltage, to determine a resistance value of the contact-via-chain (102) and to generate an output signal, if the resistance value of the contact-via-chain (102) exceeds a threshold value.
(FR)Détecteur (100) permettant de déterminer un composant semi-conducteur (101) défectueux, qui comporte un composant semi-conducteur (101), une chaîne de contacts et de trous métallisés (102) qui est disposée latéralement à une certaine distance du composant semi-conducteur (101) et qui entoure partiellement le composant semi-conducteur (101), un anneau de garde (103) qui est disposé latéralement à une certaine distance du composant semi-conducteur (101) et une unité d'évaluation (104) qui est disposée sur le composant semi-conducteur (101), caractérisé en ce que l'unité d'évaluation (104) est conçue pour appliquer une tension électrique, en particulier une tension électrique durable, à la chaîne de contacts et de trous métallisés (102), pour relever une valeur de résistance de la chaîne de contacts et de trous métallisés (102) et pour produire un signal lorsque la valeur de résistance de la chaîne de contacts et de trous métallisés (102) dépasse une valeur de seuil.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)