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1. (WO2016178297) WIRE SAW DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/178297    International Application No.:    PCT/JP2016/001146
Publication Date: 10.11.2016 International Filing Date: 03.03.2016
IPC:
B24B 27/06 (2006.01), B24B 55/02 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventors: KITAGAWA, Koji; (JP).
SHIMIZU, Yuichi; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Priority Data:
2015-094358 01.05.2015 JP
Title (EN) WIRE SAW DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SCIE À FIL
(JA) ワイヤソー装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a wire saw device characterized by comprising: a wire row formed of a wire which is wound around a plurality of wire guides and reciprocates in the axial direction; a nozzle that supplies a coolant or slurry to the wire; and a workpiece feeding mechanism that holds a workpiece and presses the workpiece against the wire row, wherein the workpiece held by the workpiece feeding mechanism is pressed against the wire raw to cut-feed the workpiece while the coolant or the slurry is supplied from the nozzle to the wire so that the workpiece is cut into a wafer-like slice, the nozzle is placed above the wire raw to be orthogonal to the wire raw, and windbreak plates are placed at both of the left and right sides, viewed from the axis direction, of the placed nozzle. Thus, provided is a wire saw device capable of uniformly supplying a coolant or slurry to a wire raw even when the flow rate of the coolant or the slurry is reduced.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de scie à fil qui est caractérisé en ce qu'il comporte : une rangée de fil formée d'un fil qui est enroulé autour d'une pluralité de guides de fil et qui effectue un va-et-vient dans la direction axiale ; une buse qui fournit un agent de refroidissement ou une suspension au fil ; un mécanisme d'avance de pièce à travailler qui retient une pièce à travailler et qui la presse contre la rangée de fil, la pièce à travailler retenue par le mécanisme d'avance de pièce à travailler étant pressée contre la rangée de fil pour fournir-couper la pièce à travailler pendant que l'agent de refroidissement ou la suspension est distribuée au fil par la buse de telle sorte que la pièce à travailler est coupée en une tranche du type plaquette, la buse étant disposée au-dessus de la rangée de fil de façon à être orthogonale à celle-ci et des plaques pare-vent étant disposées des deux côtés droit et gauche, en vue dans la direction de l'axe, de la buse placée. Par conséquent, l'invention concerne un dispositif de scie à fil pouvant acheminer uniformément un agent de refroidissement ou une suspension jusqu'à une rangée de fil même quand le débit d'écoulement de l'agent de refroidissement ou de la suspension est réduit.
(JA)本発明は、複数のワイヤガイドに巻回され、軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、前記ワイヤにクーラント又はスラリを供給するノズルと、保持したワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構を具備し、前記ノズルから前記ワイヤに前記クーラント又は前記スラリを供給しつつ、前記ワーク送り機構により保持された前記ワークを前記ワイヤ列に押圧して切り込み送りすることで、前記ワークをウェーハ状に切断するワイヤソー装置であって、前記ノズルは前記ワイヤ列の上方に、該ワイヤ列と直行するように配置され、該配置されたノズルの軸方向から見た左右両方に防風板が配置されたものであることを特徴とするワイヤソー装置である。これにより、クーラント又はスラリの流量を少なくしたとしても、クーラント又はスラリをワイヤ列に均一に供給することができるワイヤソー装置が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)