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1. (WO2016178297) WIRE SAW DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/178297    International Application No.:    PCT/JP2016/001146
Publication Date: 10.11.2016 International Filing Date: 03.03.2016
B24B 27/06 (2006.01), B24B 55/02 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventors: KITAGAWA, Koji; (JP).
SHIMIZU, Yuichi; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Priority Data:
2015-094358 01.05.2015 JP
(JA) ワイヤソー装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a wire saw device characterized by comprising: a wire row formed of a wire which is wound around a plurality of wire guides and reciprocates in the axial direction; a nozzle that supplies a coolant or slurry to the wire; and a workpiece feeding mechanism that holds a workpiece and presses the workpiece against the wire row, wherein the workpiece held by the workpiece feeding mechanism is pressed against the wire raw to cut-feed the workpiece while the coolant or the slurry is supplied from the nozzle to the wire so that the workpiece is cut into a wafer-like slice, the nozzle is placed above the wire raw to be orthogonal to the wire raw, and windbreak plates are placed at both of the left and right sides, viewed from the axis direction, of the placed nozzle. Thus, provided is a wire saw device capable of uniformly supplying a coolant or slurry to a wire raw even when the flow rate of the coolant or the slurry is reduced.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de scie à fil qui est caractérisé en ce qu'il comporte : une rangée de fil formée d'un fil qui est enroulé autour d'une pluralité de guides de fil et qui effectue un va-et-vient dans la direction axiale ; une buse qui fournit un agent de refroidissement ou une suspension au fil ; un mécanisme d'avance de pièce à travailler qui retient une pièce à travailler et qui la presse contre la rangée de fil, la pièce à travailler retenue par le mécanisme d'avance de pièce à travailler étant pressée contre la rangée de fil pour fournir-couper la pièce à travailler pendant que l'agent de refroidissement ou la suspension est distribuée au fil par la buse de telle sorte que la pièce à travailler est coupée en une tranche du type plaquette, la buse étant disposée au-dessus de la rangée de fil de façon à être orthogonale à celle-ci et des plaques pare-vent étant disposées des deux côtés droit et gauche, en vue dans la direction de l'axe, de la buse placée. Par conséquent, l'invention concerne un dispositif de scie à fil pouvant acheminer uniformément un agent de refroidissement ou une suspension jusqu'à une rangée de fil même quand le débit d'écoulement de l'agent de refroidissement ou de la suspension est réduit.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)