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1. (WO2016178283) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE PROVIDED WITH ION PUMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/178283    International Application No.:    PCT/JP2015/063145
Publication Date: 10.11.2016 International Filing Date: 01.05.2015
IPC:
H01J 37/248 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: TONE Masazumi; (JP).
TOUDA Hiroshi; (JP).
ONISHI Fujio; (JP)
Agent: SEIRYO I.P.C.; 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE PROVIDED WITH ION PUMP
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES POURVU D'UNE POMPE IONIQUE
(JA) イオンポンプを備えた荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)In this charged particle beam device provided with an ion pump, low-frequency noise of the power source of the ion pump is sufficiently reduced to enable accurate measurement of a degree of vacuum. A drive power source unit (1) of an ion pump (2) is configured to comprise: high-voltage power source circuit units (101-112) that operate the ion pump (2); a load current detecting circuit unit (130) that detects load current applied to the ion pump (2); and a canceller circuit unit (140) that reduces low-frequency noise applied to the load current detecting circuit unit (130).
(FR)L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées pourvu d'une pompe ionique, dans lequel le bruit basse fréquence de la source d'alimentation de la pompe ionique est suffisamment réduit pour permettre une mesure précise d'un degré de vide. Une unité de source d'alimentation d'attaque (1) d'une pompe ionique (2) est configurée pour comprendre : des unités de circuit de source d'alimentation haute tension (101-112) qui font fonctionner la pompe ionique (2) ; une unité de circuit de détection de courant de charge (130) qui détecte le courant de charge appliqué à la pompe ionique (2) ; une unité de circuit d'annulation (140) qui réduit le bruit basse fréquence appliqué à l'unité de circuit de détection de courant de charge (130).
(JA)イオンポンプを備えた荷電粒子線装置において、イオンポンプの電源の低周波ノイズを十分に低減して真空度を高精度に計測することを可能にする。イオンポンプ(2)の駆動電源部(1)を、イオンポンプ(2)を作動させる高圧電源回路部(101-112)と、イオンポンプ(2)に印加される負荷電流を検出する負荷電流検出回路部(130)と、負荷電流検出回路部(130)に加わる低周波ノイズを低減するキャンセラ回路部(140)とを備えて構成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)