WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016177511) LITHOGRAPHIC APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/177511    International Application No.:    PCT/EP2016/056758
Publication Date: 10.11.2016 International Filing Date: 29.03.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), F01N 1/02 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: NAKIBOGLU, Günes; (NL).
HOLTRUST, Maarten; (NL).
VAN DUIJNHOVEN, Martinus; (NL).
FAHRNI, Francis; (NL).
VAN BOXTEL, Frank, Johannes, Jacobus; (NL).
QUIST, Anne, Willemijn, Bertine; (NL).
PAARHUIS, Bart, Dinand; (NL).
VAN SOMMEREN, Daan, Daniel, Johannes, Antonius; (NL)
Agent: VAN DE VEN, Jan-Piet; (NL)
Priority Data:
15166563.5 06.05.2015 EP
Title (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abstract: front page image
(EN)A lithographic apparatus has: - a conduit through which a gas can flow; - a gas mover configured to cause the gas to flow in the conduit; - a wall in contact with the gas in the conduit and defining a membrane aperture therein; and - an acoustic filter comprising a flexible membrane fixed in the membrane aperture. The acoustic filter reduces transmission of acoustic disturbances without adding any flow resistance.
(FR)La présente invention concerne un appareil lithographique, qui comprend :-un conduit à travers lequel un gaz peut s'écouler ; - un dispositif de transport de gaz conçu pour permettre l'écoulement du gaz dans le conduit ; - une paroi en contact avec le gaz dans le conduit et définissant une ouverture de membrane à l'intérieur de celle-ci ; et-un filtre acoustique comprenant une membrane souple fixée dans l'ouverture de membrane. Le filtre acoustique réduit la transmission de perturbations acoustiques sans ajouter une quelconque résistance à l'écoulement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)