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1. (WO2016176469) MULTIPLE PIN PROBES WITH SUPPORT FOR PERFORMING PARALLEL MEASUREMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/176469    International Application No.:    PCT/US2016/029818
Publication Date: 03.11.2016 International Filing Date: 28.04.2016
IPC:
G01R 1/073 (2006.01), G01R 3/00 (2006.01), G01R 15/12 (2006.01), G01R 27/00 (2006.01), G01R 33/09 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: ZHU, NanChang; (CN).
SHI, Bin (Zhubin); (CN)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US)
Priority Data:
62/154,233 29.04.2015 US
15/139,883 27.04.2016 US
Title (EN) MULTIPLE PIN PROBES WITH SUPPORT FOR PERFORMING PARALLEL MEASUREMENTS
(FR) SONDES À BROCHES MULTIPLES À SUPPORT POUR EFFECTUER DES MESURES PARALLÈLES
Abstract: front page image
(EN)Multiple pin probes and methods for controlling such multiple pin probes to support parallel measurements are disclosed. The method may include: establishing electrical contact between a multiple pin probe and a subject of measurement; selecting two pins out of a plurality of pins included in the multiple pin probe as current-carrying pins; selecting more than two additional pins out of the plurality of pins included in the multiple pin probe as voltage-metering pins; injecting a current through the current-carrying pins; simultaneously measuring voltage signals through the voltage-metering pins; calculating a simulated a voltage distribution curve at least partially based on the voltage signals simultaneously measured through the voltage-metering pins; and determining one or more processor monitor parameters of the subject of measurement at least partially based on the simulated voltage distribution curve.
(FR)L'invention concerne des sondes à broches multiples et des procédés pour commander de telles sondes à broches multiples pour prendre en charge des mesures parallèles. Le procédé peut comprendre les étapes consistant : à établir un contact électrique entre une sonde à broches multiples et un sujet de mesure ; à sélectionner deux broches parmi une pluralité de broches comprises dans la sonde à broches multiples en tant que broches de transport de courant ; à sélectionner plus de deux broches supplémentaires parmi la pluralité de broches comprises dans la sonde à broches multiples en tant que broches de mesure de tension ; à injecter un courant à travers les broches de transport de courant ; à mesurer simultanément des signaux de tension par l'intermédiaire des broches de mesure de tension ; à calculer une courbe de distribution de tension simulée au moins partiellement sur la base des signaux de tension mesurés simultanément par l'intermédiaire des broches de mesure de tension ; et à déterminer un ou plusieurs paramètres de surveillance de processeurs du sujet de mesure au moins partiellement sur la base de la courbe de distribution de tension simulée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)