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Pub. No.:    WO/2016/175160    International Application No.:    PCT/JP2016/062870
Publication Date: 03.11.2016 International Filing Date: 25.04.2016
C08G 59/17 (2006.01), C08G 63/127 (2006.01), G03F 7/033 (2006.01)
Applicants: NAGASE CHEMTEX CORPORATION [JP/JP]; 1-17, Shinmachi 1-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5508668 (JP)
Inventors: MUTOBE, So; (JP)
Agent: YASUTOMI & ASSOCIATES; 5-36, Miyahara 3-chome, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320003 (JP)
Priority Data:
2015-091764 28.04.2015 JP
(JA) アルカリ可溶性樹脂
Abstract: front page image
(EN)The present invention addresses the problem of providing an alkali-soluble resin which can be used suitably for the production of an alkali-soluble radiation-sensitive resin composition having excellent alkali solubility, resistance to a developing solution, thin line adhesion and rectilinear propagation of patterns and undergoing a small degree of film shrinkage. The alkali-soluble resin according to the present invention is characterized by being produced by reacting (a) a (meth)acrylic acid ester having a cyclic structure and having a hydroxy group, (b) a (meth)acrylic acid ester monomer and (c) a carboxylic acid or an acid anhydride thereof with one another.
(FR)La présente invention aborde le problème de fourniture d'une résine soluble dans les alcalis qui peut être utilisée de manière appropriée pour la production d'une composition de résine sensible au rayonnement soluble dans les alcalis qui présente d'excellentes propriétés de solubilité dans les alcalis, de résistance à une solution de développement, d'adhésion des lignes minces et de propagation rectiligne de motifs et subissant un faible degré de retrait de film. La résine soluble dans les alcalis selon la présente invention est caractérisée en ce qu'elle est produite en faisant réagir (a) un ester d'acide (méth)acrylique possédant une structure cyclique et comportant un groupe hydroxy, (b) un monomère ester d'acide (méth)acrylique et (c) un acide carboxylique ou un anhydride d'acide de celui-ci les uns avec les autres.
(JA)本発明は、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮の小さいアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を得るために好適に用いられるアルカリ可溶性樹脂を提供することを目的とする。 本発明のアルカリ可溶性樹脂は、(a)環状構造を有し且つ水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル、(b)(メタ)アクリル酸エステルモノマー、及び、(c)カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)