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1. (WO2016174254) COORDINATE MEASURING DEVICE WITH AIR BEARING MONITORING AND ADJUSTING CAPABILITY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/174254    International Application No.:    PCT/EP2016/059705
Publication Date: 03.11.2016 International Filing Date: 29.04.2016
IPC:
G01B 5/00 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: ENGEL, Thomas; (DE)
Agent: LANG, Christian; LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm Rosenheimer Str. 139 81671 München (DE)
Priority Data:
10 2015 106 831.1 30.04.2015 DE
Title (DE) KOORDINATENMESSGERÄT MIT LUFTLAGERÜBERWACHUNG UND - EINSTELLUNG
(EN) COORDINATE MEASURING DEVICE WITH AIR BEARING MONITORING AND ADJUSTING CAPABILITY
(FR) MACHINE À MESURER TRIDIMENSIONNELLE À SURVEILLANCE ET RÉGLAGE DU PALIER À AIR
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein Koordinatenmessgerät mit mindestens einem Messsystem und mindestens einer Trägerstruktur, an der das Messsystem angeordnet ist, wobei das Messsystem in der Trägerstruktur und/oder die Trägerstruktur verfahrbar gelagert sind und wobei das Koordinatenmessgerät mindestens eine Luftlageranordnung zur beweglichen Lagerung von zwei Bauteilen (4, 11) zueinander mit mindestens einem Luftlager (12) aufweist, welches ein Druckluftpolster zwischen den Bauteilen ausbilden kann, wobei das Luftlager mindestens eine Druckluftversorgungsleitung (13) aufweist, über die Druckluft bereitgestellt werden kann, wobei in der Druckluftversorgungsleitung ein Durchflussmesser (15) angeordnet ist, mit dem der Durchfluss an Druckluft zum Luftlager ermittelt werden kann.
(EN)The invention relates to a coordinate measuring device comprising at least one measuring system and at least one support structure on which the measuring system is arranged. The measuring system can be movably mounted in the support structure and/or the support structure is movably mounted, and the coordinate measuring device has at least one air bearing arrangement for bearing two components (4, 11) in a movable manner relative to each other by means of at least one air bearing (12) which can form a compressed air cushion between the components. The air bearing has at least one compressed air supply line (13) via which compressed air can be provided, and the compressed air supply line is equipped with a flow meter (15) with which the flow rate of compressed air to the air bearing can be ascertained.
(FR)L'invention concerne une machine à mesurer tridimensionnelle comportant au moins un système de mesure et au moins une structure support sur laquelle le système de mesure est disposé, le système de mesure étant logé coulissant dans la structure support et/ou la structure support étant logée coulissante. La machine à mesurer tridimensionnelle comporte au moins un système à palier à air pour le logement mobile de deux composants (4, 11) l'un par rapport à l'autre, pourvu d'au moins un palier à air (12) capable de former un coussinet d'air comprimé entre les composants. Le palier à air présente au moins une conduite d'alimentation en air comprimé (13) permettant de fournir de l'air comprimé. La conduite d'alimentation en air comprimé contient un capteur de débit (15) permettant de déterminer le débit d'air comprimé vers le palier à air.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)