(EN) An end effector of a substrate conveying robot is provided with a plurality of blades, blade support parts for supporting the blades such that the inter-blade spacing along a substrate vertical direction varies, and a blade drive device for causing at least one of the plurality of blade support parts to move relatively along the substrate vertical direction with respect to another blade. Each of the blades has a first main surface oriented toward one end along the substrate vertical direction, a second main surface which is on the opposite side to the first main surface, a first substrate-holding mechanism for causing the first main surface to hold a substrate, and a second substrate-holding mechanism for causing the second main surface to hold a substrate.
(FR) L'invention concerne un effecteur terminal d'un robot de transport de substrats, qui est pourvu d'une pluralité de lames, de parties de support de lame pour maintenir les lames de manière que l'espacement entre lames le long d'une direction verticale de substrat varie, et d'un dispositif d'entraînement de lame pour amener au moins une partie de support de lame de la pluralité de parties de support de lame à se déplacer relativement le long de la direction verticale de substrat par rapport à une autre lame. Chacune des lames présente une première surface principale orientée vers une extrémité le long de la direction verticale de substrat, une seconde surface principale qui est du côté opposé à la première surface principale, un premier mécanisme de maintien de substrat pour amener la première surface principale à maintenir un substrat, et un second mécanisme de maintien de substrat pour amener la seconde surface principale à maintenir un substrat.
(JA) 基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、複数のブレードと、ブレードどうしの基板垂線方向の間隔が可変となるように、ブレードを支持するブレード支持部と、複数のブレード支持部のうち少なくとも１つを他のブレードに対して基板垂線方向へ相対的に移動させるブレード駆動装置とを備える。ブレードの各々が、基板垂線方向の一方を向いた第１の主面と、その反対面である第２の主面と、第１の主面に基板を保持させる第１の基板保持機構と、第２の主面に基板を保持させる第２の基板保持機構とを有する。
