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1. WO2016147691 - PROBE PIN AND PROBE UNIT WITH SAME

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明 細 書

発明の名称 プローブピン、および、これを備えたプローブユニット

技術分野

0001  

背景技術

0002  

先行技術文献

特許文献

0003  

発明の概要

発明が解決しようとする課題

0004   0005   0006  

課題を解決するための手段

0007  

発明の効果

0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014  

図面の簡単な説明

0015  

発明を実施するための形態

0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051   0052   0053   0054   0055   0056   0057   0058   0059   0060   0061   0062   0063   0064   0065   0066   0067   0068   0069   0070   0071   0072   0073   0074   0075  

産業上の利用可能性

0076  

符号の説明

0077  

請求の範囲

1   2   3   4  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19   20   21   22   23   24   25   26   27   28   29   30   31   32   33   34   35   36   37   38  

明 細 書

発明の名称 : プローブピン、および、これを備えたプローブユニット

技術分野

[0001]
 本発明は、プローブピン、および、このプローブピンを備えたプローブユニットに関する。

背景技術

[0002]
 従来、プローブピンとしては、特許文献1に記載されたものがある。この従来のプローブピンは、円筒形状のスリーブと、スリーブの一端部に設けられた接続端子と、スリーブ内をスライド移動するコンタクトピンと、接続端子とコンタクトピンとを連結する形状記憶合金部材と、スリーブの他端とコンタクトピンとの間に配置されたコイルばねとを備えている。

先行技術文献

特許文献

[0003]
特許文献1 : 特開平2-150773号公報

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0004]
 ところで、従来の前記プローブピンは、リセプタクルと共にプローブユニットとして用いる場合がある。このような従来のプローブユニットの中には、リセプタクルとプローブピンとを嵌合させて、リセプタクルとプローブピンとの間の導通を確保しているものがある。
[0005]
 しかし、前記プローブユニットでは、プローブピンを交換する毎にリセプタクルの内周面が削れてしまい、リセプタクルとプローブピンとの間に隙間が形成される場合があった。この場合、プローブピンとリセプタクルとの間の接触が不安定になり、接触信頼性が低下してしまうという問題があった。
[0006]
 本発明は、前述の問題に鑑み、接触信頼性の高いリセプタクル用プローブピン、および、これを備えたプローブユニットを提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0007]
 本発明に係るプローブピンは、前記課題を解決すべく、中心線に沿って伸縮するコイルばねと、前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って挿入された第1の挿入部と、前記コイルばねを支持する支持部が設けられた第1の接触部とを有する導電性の第1プランジャと、前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って挿入され、前記第1の挿入部にスライド移動可能に連結された第2の挿入部と、前記コイルばねを支持する支持部が設けられた第2の接触部とを有する導電性の第2プランジャと、を備える。第1または第2の前記接触部の少なくともいずれか一方に、前記接触部からせり出した弾性ばね部を設けた。

発明の効果

[0008]
 本発明のプローブピンによれば、第1または第2の接触部の少なくともいずれか一方に、接触部からせり出した弾性ばね部を設けている。このため、例えば、このプローブピンをリセプタクルに挿入すると、弾性ばね部がリセプタクルの内周面を押圧するので、リセプタクルとプローブピンとの間にがたつきが生じず、常に所定の接触圧で接触させることができる。これにより、リセプタクルとプローブピンとの間の接触安定性を高めることができる。
[0009]
 本発明の実施形態としては、前記弾性ばね部が、第1および第2の前記接触部に設けられた構成としてもよい。
[0010]
 本実施形態によれば、第1および第2の接触部の各々に弾性ばね部を設けているので、例えば、このプローブピンをリセプタクルに挿入したときに、第1,第2の接触部の弾性ばね部がリセプタクルの内周面を押圧する。このため、プローブピンのがたつきを確実に防止できると共に、リセプタクルとプローブピンとの間の接触安定性を高めることができる。
[0011]
 本発明の実施形態としては、前記第1,第2プランジャが電鋳法で形成されている構成としてもよい。
[0012]
 本実施形態によれば、第1,第2プランジャを高い精度で形成できる。このため、リセプタクルとプローブピンとの間の接触安定性を高めることができる。
[0013]
 本発明に係るプローブユニットは、前記プローブピンと、このプローブピンが収納され、かつ、前記弾性ばね部が配置される収納部を有するリセプタクルとを備えた。
[0014]
 本発明のプローブユニットによれば、前記プローブピンによって、接触安定性を容易に高めることができる。

図面の簡単な説明

[0015]
[図1] 本発明の第1実施形態のプローブピンを備えたプローブユニットの側面図である。
[図2] 本発明の第1実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図3] 図2のプローブピンのX矢視図である。
[図4] 図2のプローブピンのY矢視図である。
[図5] 図2のプローブピンのZ矢視図である。
[図6] 図2のプローブピンの分解斜視図である。
[図7] 図1のプローブユニットの縦断面図である。
[図8] 図7の縦断面図の部分拡大図である。
[図9] 本発明の第2実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図10] 図9のプローブピンのX矢視図である。
[図11] 図9のプローブピンのY矢視図である。
[図12] 図9のプローブピンのZ矢視図である。
[図13] 図9のプローブピンの分解斜視図である。
[図14] 本発明の第3実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図15] 図14のプローブピンのX矢視図である。
[図16] 図14のプローブピンのY矢視図である。
[図17] 図14のプローブピンのZ矢視図である。
[図18] 図14のプローブピンの分解斜視図である。
[図19] 本発明の第4実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図20] 図19のプローブピンのX矢視図である。
[図21] 図19のプローブピンのY矢視図である。
[図22] 図19のプローブピンのZ矢視図である。
[図23] 図19のプローブピンの分解斜視図である。
[図24] 本発明の第5実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図25] 図25のプローブピンのX矢視図である。
[図26] 図25のプローブピンのY矢視図である。
[図27] 図25のプローブピンのZ矢視図である。
[図28] 図25のプローブピンの分解斜視図である。
[図29] 本発明の第6実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図30] 図29のプローブピンのX矢視図である。
[図31] 図29のプローブピンのY矢視図である。
[図32] 図29のプローブピンのZ矢視図である。
[図33] 図29のプローブピンの分解斜視図である。
[図34] 本発明の第7実施形態のプローブピンの斜視図である。
[図35] 図34のプローブピンのX矢視図である。
[図36] 図34のプローブピンのY矢視図である。
[図37] 図34のプローブピンのZ矢視図である。
[図38] 図34のプローブピンの分解斜視図である。

発明を実施するための形態

[0016]
 以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を示す用語、及びそれらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。したがって、それらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきでない。
[0017]
 (第1実施形態)
 本発明の第1実施形態のプローブピンを備えたプローブユニット100は、図1に示すように、リセプタクル1と、このリセプタクル1に挿入されたプローブピン2とを備えている。
[0018]
 プローブピン2は、図2~図6に示すように、第1プランジャ10と、第2プランジャ20と、コイルばね30とで構成されている。第1,第2プランジャ10,20は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。
[0019]
 第1プランジャ10は、図6に示すように、略同一の板厚を有する矩形の板形状で、第1の挿入部の一例の被挟持部11と、第1の接触部の一例の接触部12とで構成されている。なお、第1プランジャ10の板厚方向に直交する面を主要面とし、この主要面に直交する板厚方向に平行な面を側面とする。
[0020]
 被挟持部11は、主要面視矩形状を有し、その主要面の先端側(図6の上側)に、被挟持部11を貫通するガイド溝13が設けられている。このガイド溝13は、被挟持部11の長手方向に延びる矩形状で、第2プランジャ20の板厚よりも大きい幅を有している。
[0021]
 接触部12は、被挟持部11よりも大きい幅を有する主要面視略矩形状で、被挟持部11に連続する支持部の一例の基部14と、円弧状に形成された自由端を有する先端部15と、基部14と先端部15との間に設けられた弾性ばね部16とで構成されている。
[0022]
 弾性ばね部16は、中央連結部161と、この中央連結部161の両側に隙間を挟んで設けられた弾性湾曲部162とで構成されている。中央連結部161は、主要面視矩形状を有し、基部14と先端部15とに連結されている。弾性湾曲部162は、接触部12の側面からせり出した主要面視円弧形状を有し、基部14および先端部15の幅方向の両端にそれぞれ連結されている。
[0023]
 なお、第1プランジャ10は、主要面の幅方向の中心線に対して、対称に形成されている。
[0024]
 第2プランジャ20は、図6に示すように、略同一の板厚を有する直線状に延びる板形状で、第2の接触部の一例の接触部21と、この接触部21の基端(図6の下端)に設けられた第2の挿入部の一例の第1,第2弾性片22,23とで構成されている。なお、第2プランジャ20の板厚方向に直交する面を主要面とし、この主要面に直交する板厚方向に平行な面を側面とする。
[0025]
 接触部21は、主要面視略矩形状を有し、その先端(図6の上端)には、主要面視V字形状を有する接点部24が設けられている。この接点部24は、接触部21よりも大きい幅を有している。また、接触部21の基端(図6の下端)には、支持部の一例のコイルばね支持部25が、接触部21の側面から突出するように設けられている。
[0026]
 第1,第2弾性片22,23は、主要面視矩形状で、接触部21も小さい幅をそれぞれ有している。この第1,第2弾性片22,23は、接触部21の基端の幅方向の両端にそれぞれ配置され、接触部21の長手方向に沿って、間隔を空けて互いに略平行に延びている。第1,第2弾性片22,23の間には、第1プランジャ10の板厚よりも大きい隙間が形成されている。すなわち、第1,第2弾性片22,23は、向かい合う側面である内側面間の距離が、第1プランジャ10の板厚よりも大きくなり、内側面の反対側の側面である外側面間の距離が、接触部21の幅に略等しくなるように設けられている。また、第1,第2弾性片22,23は、長さが異なっており、第1弾性片22が第2弾性片23よりも短くなっている。
[0027]
 第1弾性片22の内側面の先端には、ガイド突起26が第2弾性片23に向かって突出するように設けられている。また、第2弾性片23の内側面の先端には、接触突起27が第1弾性片22に向かって突設されている。この接触突起27は、第1プランジャ10のガイド溝13に第1弾性片22のガイド突起26を嵌合した状態で、第1プランジャ10の被挟持部11に対して常に接触するように配置されている。
[0028]
 コイルばね30は、例えば、炭素鋼あるいはステンレス鋼からなり、その中心線に沿って伸縮するように形成されている。このコイルばね30は、図2~図5に示すように、第1プランジャ10の被挟持部11の幅、および、第2プランジャ20の接触部21の幅よりもやや大きい内径を有している。また、コイルばね30は、第1プランジャ10の接触部12の幅、および、第2プランジャ20のコイルばね支持部25が設けられている部分の幅と、略同一の外径を有している。
[0029]
 なお、コイルばね30は、図2~図5に示す状態、すなわち、第1プランジャ10と第2プランジャ20とが互いに組み合わされた状態では、その両端が、第1プランジャ10の基部14と、第2プランジャ20のコイルばね支持部25とで支持され、常時圧縮されるようにバネ長が調整されている。
[0030]
 リセプタクル1は、導電性の材料で形成され、図7に示すように、細長い円筒形状を有する第1,第2ハウジング41,42で構成されている。第1,第2ハウジング41,42は、それぞれ、異なる大きさの径を有しており、一直線に並ぶように配置され、一体化されている。また、第1ハウジング41の内部には、プローブピン2を収納可能な収納部43が設けられている。この収納部43には、リセプタクル1の一端に開口する円形の開口部44が設けられ、プローブピン2の弾性ばね部16が配置されるようになっている。
[0031]
 なお、収納部43は、プローブピン2の第1プランジャ10の被挟持部11の幅よりも大きく、弾性ばね部16部分の幅よりも小さい径を有している。
[0032]
 次に、第1実施形態のプローブピン2を備えるプローブユニット100の組立工程について説明する。
[0033]
 最初に、プローブピン2を組み立てる。まず、コイルばね30の一端側からコイルばね30の中心線に沿って第1プランジャ10を挿入する一方、コイルばね30の他端側からコイルばね30の中心線に沿って第2プランジャ20を挿入する。このとき、第1プランジャ10は、被挟持部11側からコイルばね30の内部に挿入され、第2プランジャ20は、第1,第2弾性片22,23側からコイルばね30の内部に挿入される。また、第1,第2プランジャ10,20は、図5に示すように、第1プランジャ10の主要面と第2プランジャ20の主要面とが直交するように、挿入される。
[0034]
 第2プランジャ20をコイルばね30の内部に挿入していくと、第2弾性片23の接触突起27が第1プランジャ10の被挟持部11と接触する。そして、第2弾性片23がプローブピン2の挿入方向に直交する方向に弾性変形し、第2弾性片23の接触突起27が、第1プランジャ10のガイド溝13に挿入される。
[0035]
 第2弾性片23の接触突起27が、第1プランジャ10のガイド溝13に挿入された後、第2プランジャ20をコイルばね30の内部に挿入していくと、第1弾性片22のガイド突起26が第1プランジャ10の被挟持部11と接触する。そして、第1弾性片22がプローブピン2の挿入方向に直交する方向に弾性変形し、被挟持部11が第1弾性片22と第2弾性片23とで挟持される。
[0036]
 被挟持部11が第1弾性片22と第2弾性片23とで挟持された後、第2プランジャ20をコイルばね30の内部にさらに挿入していくと、第2弾性片23の接触突起27が、ガイド溝13の端部(図6の下端)と接触する。そして、第2弾性片23がプローブピン2の挿入方向に直交する方向に弾性変形し、接触突起27が被挟持部11の基端側(図6のガイド溝64の下側)と接触する。また、第1弾性片22のガイド突起26が、ガイド溝13に挿入され、第1,第2プランジャ10,20が連結される。これにより、プローブピン2の組み立てが完了する。
[0037]
 プローブピン2の組み立てが完了すると、このプローブピン2を第1プランジャ10側からリセプタクル1内に挿入する。プローブピン2をリセプタクル1内に挿入していくと、プローブピン2の弾性ばね部16の弾性湾曲部162がリセプタクル1の開口部44側の端面と接触し、弾性変形しながらリセプタクル1内に押し込まれる。このため、プローブピン2は、図8に示すように、弾性ばね部16がリセプタクル1内に挿入された後、弾性湾曲部162によって収納部43の内周面を押圧しながら、リセプタクル内に挿入される。
[0038]
 そして、図7に示すように、第1プランジャ10の先端部15と収納部43の底面45とが接触するまで、プローブピン2をリセプタクル1内に挿入し、プローブユニット100の組立工程が終了する。
[0039]
 続いて、リセプタクル1に収納されたプローブピン2の動作について説明する。
[0040]
 リセプタクル1に収納された初期状態のプローブピン2は、図7に示すように、第2プランジャ20の接点部24を含む一部がリセプタクル1の開口部44から突出している。
[0041]
 この初期状態のプローブピン2では、第1プランジャ10の被挟持部11と第2プランジャ20の接触突起27とが接触していると共に、第1プランジャ10の弾性ばね部16の弾性湾曲部162が、リセプタクル1の内周面を押圧している。このため、プローブピン2は、がたつくことなく、リセプタクル1と常に接触し、相互に導通している。
[0042]
 初期状態のプローブピン2の第2プランジャ20の接点部24に力を加え、第2プランジャ20をリセプタクル1内に向かって押し込むと、第2プランジャ20の第1弾性片22のガイド突起26が、第1プランジャ10のガイド溝13に沿ってスライド移動を開始する。このとき、コイルばね30は、第2プランジャ20のコイルばね支持部25を介して、第2プランジャ20に加えられた力が伝達され、次第に圧縮される。
[0043]
 第2プランジャ20をリセプタクル1内に向かってさらに押し込んでいくと、第2プランジャ10,20の接点部24がリセプタクル1内に完全に押し込まれ、第1,第2プランジャ10,20のスライド移動が停止する。
[0044]
 第1,第2プランジャ10,20が停止した後、第2プランジャ10,20の接点部24に加えられている力を解放すると、コイルばね30の復帰力によって、第2プランジャ20は、図7に示す初期状態に復帰する。
[0045]
 前記プローブユニット100では、第1プランジャ10の弾性ばね部16の弾性湾曲部162が、リセプタクル1の内周面を押圧している。このため、リセプタクル1とプローブピン2との間にがたつきが生じず、常に所定の接触圧で接触している。このため、リセプタクル1とプローブピン2との間の接触安定性を高めることができる。
[0046]
 また、弾性ばね部16でリセプタクル1の内周面を押圧することにより、リセプタクル1とプローブピン2とを接触させている。このため、仮に、プローブピン2の交換によって、リセプタクル1とプローブピン2との間の隙間が広がってしまったとしても、リセプタクル1とプローブピン2とを確実に接触させることができる。
[0047]
 第1実施形態のプローブピン2では、第2プランジャ20の第2弾性片23の接触突起27が、第1プランジャ10の被挟持部11の基端側(図6のガイド溝64の下側)と常に接触している。このため、第1,第2プランジャ10,20の間の接触安定性を高めることができる。
[0048]
 また、第2プランジャ20のガイド突起26は、第1プランジャ10のガイド溝13に沿ってスライド移動する。これにより、第1プランジャ10の被挟持部11と第2プランジャ20の接触突起27とが接触する接触位置を正確に検出できる。
[0049]
 (第2実施形態)
 図9~図13は、第2実施形態のプローブピン102を示す図である。この第2実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0050]
 第2実施形態のプローブピン102は、図9~13に示すように、第1プランジャ10の接触部12に設けた弾性ばね部16に加え、第2プランジャ20の接触部21の接点部24とコイルばね支持部25との間にも弾性ばね部16を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。
[0051]
 このように、第1プランジャだけでなく、第2プランジャにも弾性ばね部を設けることで、リセプタクルに挿入したときのプローブピンのがたつきを確実に防止でき、リセプタクルとプローブピンとを確実に接触させることができる。
[0052]
 (第3実施形態)
 図14~図18は、第3実施形態のプローブピン202を示す図である。この第3実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0053]
 第3実施形態のプローブピン202は、図14~18に示すように、第1プランジャ10の接触部12に弾性ばね部16を設けずに、第2プランジャ20の接触部21の接点部24とコイルばね支持部25との間に弾性ばね部16を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。
[0054]
 このように、弾性ばね部は、第1,第2プランジャの少なくともいずれか一方に設けてあればよい。これにより、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
[0055]
 (第4実施形態)
 図19~図23は、第4実施形態のプローブピン302を示す図である。この第4実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0056]
 第4実施形態のプローブピン302は、図19~23に示すように、第1プランジャ10の接触部12に、片持ち状の弾性湾曲部163を有する弾性ばね部116を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。
[0057]
 このように、弾性ばね部の形状は、プローブピンの設計等に応じて、適宜変更でき、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
[0058]
 (第5実施形態)
 図24~図28は、第5実施形態のプローブピン402を示す図である。この第5実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0059]
 第5実施形態のプローブピン402は、図24~28に示すように、第1プランジャ10の接触部12に、弾性湾曲部164を有する弾性ばね部216を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。この弾性湾曲部164には、接触部12の幅方向外側の側面から突出する2つの突起165が設けられている。突起165は、2つの弾性湾曲部164の長手方向の中心を結ぶ直線に対して対称に配置されている。
[0060]
 このように、弾性湾曲部に突起を設けることで、弾性ばね部によるリセプタクルの内周面への押圧力を調節できる。これにより、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
[0061]
 (第6実施形態)
 図29~図33は、第6実施形態のプローブピン502を示す図である。この第6実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0062]
 第6実施形態のプローブピン502は、図29~33に示すように、第1プランジャ10の接触部12に、弾性ばね部316を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。弾性ばね部316は、接触部12の主要面の中央に形成された矩形の切り込み孔部166と、この切り込み孔部166の一短辺に連結され、かつ、板厚方向に曲げ起こした弾性腕部167とで構成されている。また、この弾性腕部167の先端は、接触部12の主要面に向かって折り曲げられている。
[0063]
 このように、弾性ばね部は、接触部の側面からせり出す場合に限らず、接触部の主要面からせり出すように設けることもできる。これにより、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
[0064]
 (第7実施形態)
 図34~図38は、第7実施形態のプローブピン602を示す図である。この第6実施形態では、第1実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第1実施形態と異なる点について説明する。
[0065]
 第7実施形態のプローブピン602は、図34~38に示すように、第1プランジャ10の接触部12に、ベローズ状の弾性湾曲部168を有する弾性ばね部416を設けた点で、第1実施形態のプローブピン2と異なっている。
[0066]
 このように、弾性ばね部の形状は、プローブピンの設計等に応じて、適宜変更でき、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
[0067]
 (その他の実施形態)
 第1プランジャ10の先端部15の自由端の形状は、円弧状に限らず、三角形あるいは四角形等、プローブピンの設計等に応じて、適宜選択できる。
[0068]
 第2プランジャ20の第1弾性片22のガイド突起26は、第1プランジャ10のガイド溝13に挿入嵌合できると共に、ガイド溝13内をスライド移動できるものであればよく、形状,大きさ等は、適宜選択できる。
[0069]
 第2プランジャ20の第2弾性片23の接触突起27は、設計に応じて、形状あるいは大きさ等を適宜選択できる。接触突起27の形状等を変更することで、第2弾性片23の第1プランジャ10の被挟持部11に対する付勢力を調整することができる。
[0070]
 第1,第2プランジャ10,20の板厚は、同一の場合に限らず、部分により異なる板厚を有するようにしてもよい。
[0071]
 第1,第2プランジャ10,20は、設計に応じて、めっき,コーティング等の表面処理を行うこともできる。
[0072]
 第1,第2プランジャ10,20は、電鋳法に限らず、第1~第7実施形態のプローブピン2,102,202,302,402,502,602を形成できる方法であれば、任意に選択できる。
[0073]
 第1プランジャ10にガイド溝13を有する被挟持部11を設け、第2プランジャ20に第1,第2弾性片22,23を設けているが、これに限らない。例えば、第1プランジャに第1,第2弾性片を設け、第2プランジャにガイド溝を有する被挟持部を設けてもよい。
[0074]
 第1,第2プランジャ10,20は、コイルばね30の両端からそれぞれ挿入したときに、相互にスライド移動可能かつ導通可能であれば、任意の構成を採用できる。
[0075]
 第1~第7実施形態および変形例で述べた構成要素は、適宜、組み合わせてもよく、また、適宜、選択、置換、あるいは、削除してもよいことは、勿論である。

産業上の利用可能性

[0076]
 本発明に係るプローブピンおよびプローブユニットは、例えば、半導体集積回路および半導体デバイス等の検査ユニットに適用できる。

符号の説明

[0077]
1 リセプタクル
2,102,202,302,402,502,602 プローブピン
10 第1プランジャ
11 被挟持部
12 接触部
13 ガイド溝
14 基部
15 先端部
16 弾性ばね部
20 第2プランジャ
21 接触部
22 第1弾性片
23 第2弾性片
24 接点部
25 コイルばね支持部
26 ガイド突起
27 接触突起
30 コイルばね
41 第1ハウジング
42 第2ハウジング
43 収納部
44 開口部
45 底面
161 中央連結部
162,163,164,168 弾性湾曲部
165 突起
166 切り込み孔部
167 弾性腕部

請求の範囲

[請求項1]
 中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
 前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って挿入された第1の挿入部と、前記コイルばねを支持する支持部が設けられた第1の接触部とを有する導電性の第1プランジャと、
 前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って挿入され、前記第1の挿入部にスライド移動可能に連結された第2の挿入部と、前記コイルばねを支持する支持部が設けられた第2の接触部とを有する導電性の第2プランジャと、
を備え、
 第1または第2の前記接触部の少なくともいずれか一方に、前記接触部からせり出した弾性ばね部を設けた、プローブピン。
[請求項2]
 前記弾性ばね部が、第1および第2の前記接触部に設けられた、請求項1に記載のプローブピン。
[請求項3]
 前記第1,第2プランジャが電鋳法で形成されている、請求項1または2に記載のプローブピン。
[請求項4]
 請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブピンと、このプローブピンが収納され、かつ、前記弾性ばね部が配置される収納部を有するリセプタクルとを備えたプローブユニット。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]

[ 図 11]

[ 図 12]

[ 図 13]

[ 図 14]

[ 図 15]

[ 図 16]

[ 図 17]

[ 図 18]

[ 図 19]

[ 図 20]

[ 図 21]

[ 図 22]

[ 図 23]

[ 図 24]

[ 図 25]

[ 図 26]

[ 図 27]

[ 図 28]

[ 図 29]

[ 図 30]

[ 図 31]

[ 図 32]

[ 図 33]

[ 図 34]

[ 図 35]

[ 図 36]

[ 図 37]

[ 図 38]