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1. WO2016147536 - ELECTRONIC COMPONENT TRANSPORT DEVICE AND ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE

Publication Number WO/2016/147536
Publication Date 22.09.2016
International Application No. PCT/JP2016/000585
International Filing Date 04.02.2016
IPC
G01R 31/26 2014.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
CPC
G01R 31/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
Applicants
  • セイコーエプソン株式会社 SEIKO EPSON CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 桐原 大輔 KIRIHARA, Daisuke
Agents
  • 渡辺 和昭 WATANABE, Kazuaki
Priority Data
2015-05177716.03.2015JP
2015-05178116.03.2015JP
2015-05178216.03.2015JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ELECTRONIC COMPONENT TRANSPORT DEVICE AND ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES
(JA) 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
Abstract
(EN)
Provided are an electronic component transport device and an electronic component inspection device for which inflow of outside air can be suppressed as much as possible when work is performed on the inside of the devices. The electronic component transport device is provided with a first opening/closing part 4 that can open and close; a first turning support part that turnably supports the first opening/closing part 4; a second opening/closing part 5 that is openably/closably provided to the first opening/closing part 4; and a second turning support part 52 that turnably supports the second opening/closing part 5. A detection unit 77 that can sense the opening and closing of the second opening/closing part 5 is disposed on the electronic component transport device.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de transport de composants électroniques et un dispositif d'inspection de composants électroniques dont l'entrée d'air peut être supprimée autant que possible lorsqu'un travail est réalisé sur l'intérieur des dispositifs. Le dispositif de transport de composants électroniques est pourvu d'une première partie d'ouverture/fermeture (4) qui peut s'ouvrir et se fermer ; d'une première partie de support de rotation qui supporte en rotation la première partie d'ouverture/de fermeture (4) ; d'une seconde partie d'ouverture/de fermeture (5) qui peut s'ouvrir/se fermer et est prévue sur la première partie d'ouverture/de fermeture (4) ; et d'une seconde partie de support de rotation (52) qui supporte en rotation la seconde partie d'ouverture/de fermeture (5). Une unité de détection (77) qui peut détecter l'ouverture et la fermeture de la seconde partie d'ouverture/de fermeture (5) est disposée sur le dispositif de transport de composants électroniques.
(JA)
 装置の内部に対する作業を施す際に、外気の流入をできる限り抑えることができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。 電子部品搬送装置は、開閉可能な第1開閉部4と、第1開閉部4を回動可能に支持する第1回動支持部と、第1開閉部4に開閉可能に設けられた第2開閉部5と、第2開閉部5を回動可能に支持する第2回動支持部52とを備え、第2開閉部5の開閉を感知可能な検出部77が配置されている。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau