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1. (WO2016106427) WAFER CLAMP DETECTION BASED ON VIBRATION OR ACOUSTIC CHARACTERISTIC ANALYSIS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/106427    International Application No.:    PCT/US2015/067734
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 28.12.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915 (US)
Inventors: SATOH, Shu; (US)
Priority Data:
62/096,924 26.12.2014 US
Title (EN) WAFER CLAMP DETECTION BASED ON VIBRATION OR ACOUSTIC CHARACTERISTIC ANALYSIS
(FR) DÉTECTION DE SERRAGE DE TRANCHES BASÉE SUR UNE ANALYSE DE CARACTÉRISTIQUES VIBRATOIRES OU ACOUSTIQUES
Abstract: front page image
(EN)A workpiece clamping status detection system and method for detecting a clamping state of a clamping device is provided. A clamping device having a clamping surface is configured to selectively clamp a workpiece to the clamping surface. The clamping device may be an electrostatic chuck or a mechanical clamp for selectively securing a semiconductor wafer thereto. A vibration-inducing mechanism is further provided, wherein the vibration-inducing mechanism is configured to selectively vibrate one or more of the clamping device and workpiece. A vibration-sensing mechanism is also provided, wherein the vibration-sensing mechanism is configured to detect the vibration of the one or more of the clamping device and workpiece. Detection of clamping status utilizes changes in acoustic properties, such as a shift of natural resonance frequency or acoustic impedance, to determine clamping condition of the workpiece. A controller is further configured to determine a clamping state associated with the clamping of the workpiece to the clamping surface, wherein the clamping state is associated with the detected vibration of the one or more of the clamping device and workpiece.
(FR)L'invention concerne un système et procédé de détection de l'état de serrage de pièces, servant à détecter un état de serrage d'un dispositif de serrage. Un dispositif de serrage doté d'une surface de serrage est configuré pour serrer sélectivement une pièce sur la surface de serrage. Le dispositif de serrage peut être un mandrin électrostatique ou une bride mécanique servant à immobiliser sélectivement une tranche à semi-conducteurs sur celui-ci. Un mécanisme induisant des vibrations est en outre mis en place, le mécanisme induisant des vibrations étant configuré pour faire vibrer sélectivement un ou plusieurs éléments parmi le dispositif de serrage et la pièce. Un mécanisme détectant les vibrations est également mis en place, le mécanisme détectant les vibrations étant configuré pour détecter les vibrations de l'élément ou des éléments parmi le dispositif de serrage et la pièce. La détection de l'état de serrage utilise des changements dans les propriétés acoustiques, comme un décalage de fréquence naturelle de résonance ou d'impédance acoustique, pour déterminer l'état de serrage de la pièce. Une commande est en outre configurée pour déterminer un état de serrage associé au serrage de la pièce sur la surface de serrage, l'état de serrage étant associé aux vibrations détectées de l'élément ou des éléments parmi le dispositif de serrage et la pièce.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)