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1. (WO2016106422) METHOD OF MEASURING VERTICAL BEAM PROFILE IN AN ION IMPLANTATION SYSTEM HAVING A VERTICAL BEAM ANGLE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/106422    International Application No.:    PCT/US2015/067720
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 28.12.2015
IPC:
H01J 37/317 (2006.01), H01J 37/304 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915 (US)
Inventors: SATOH, Shu; (US)
Priority Data:
62/096,928 26.12.2014 US
Title (EN) METHOD OF MEASURING VERTICAL BEAM PROFILE IN AN ION IMPLANTATION SYSTEM HAVING A VERTICAL BEAM ANGLE DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE PROFIL DE FAISCEAU VERTICAL DANS UN SYSTÈME D'IMPLANTATION D'IONS COMPORTANT UN DISPOSITIF D'ORIENTATION ANGULAIRE DE FAISCEAU VERTICAL
Abstract: front page image
(EN)An ion implantation system measurement system may have a scan arm (166) that rotates about an axis (184) and a workpiece support (168) to translate a workpiece through the ion beam (112). A first measurement component (162) may be downstream of the scan arm and provides a first signal from the ion beam. A second measurement component (164) with a mask (190) and a blocking plate (202) may be coupled (182) to the scan arm to provide a second signal from the ion beam with the rotation of the scan arm; wherein the mask permits varying amounts of the ion radiation from the ion beam to enter a Faraday cup (200) based on an angular orientation between the mask and the ion beam; and the blocking plate selectively blocks the ion beam to the Faraday cup based on the rotation of the scan arm. A controller is configured to determining a size of the ion beam and a relative orientation between the ion beam and the workpiece based, at least in part, on the one or more signals from the measurement component(s).
(FR)La présente invention concerne un système de mesure de système d'implantation d'ions pouvant comporter un bras de balayage (166) qui tourne autour d'un axe (184) et un support de pièce à usiner (168) servant à transporter une pièce à usiner à travers le faisceau d'ions (112). Un premier élément de mesure (162) peut se situer en aval du bras de balayage et fournit un premier signal issu du faisceau d'ions. Un second élément de mesure (164) doté d'un masque (190) et d'une plaque de blocage (202) peut être accouplé (182) au bras de balayage pour fournir un second signal issu du faisceau d'ions au moyen de la rotation du bras de balayage; le masque permettant de faire varier des quantités du rayonnement d'ions du faisceau d'ions entrant dans un seau de Faraday (200) sur la base d'une orientation angulaire entre le masque et le faisceau d'ions; et la plaque de blocage bloquant sélectivement le faisceau d'ions allant vers le seau de Faraday sur la base de la rotation du bras de balayage. Un organe de commande est conçu pour déterminer une taille du faisceau d'ions et une orientation relative entre le faisceau d'ions et la pièce à usiner sur la base, au moins en partie, du ou des signaux provenant du ou des éléments de mesure.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)