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1. (WO2016106368) CONFOCAL INSPECTION SYSTEM HAVING AVERAGED ILLUMINATION AND AVERAGED COLLECTION PATHS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/106368    International Application No.:    PCT/US2015/067480
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 22.12.2015
IPC:
G02B 21/00 (2006.01)
Applicants: APPLE INC. [US/US]; 1 Infinite Loop Cupertino, CA 95014 (US)
Inventors: HULL, Edward L.; (US).
TERREL, Matthew A.; (US).
ARBORE, Mark A.; (US)
Agent: NGUYEN, Jean; (US)
Priority Data:
62/096,282 23.12.2014 US
Title (EN) CONFOCAL INSPECTION SYSTEM HAVING AVERAGED ILLUMINATION AND AVERAGED COLLECTION PATHS
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION CONFOCAL AYANT UNE MOYENNE D’ÉCLAIRAGE ET DES MOYENNES DE TRAJETS DE CAPTAGE
Abstract: front page image
(EN)A confocal inspection system can optically characterize a sample. An objective lens, or separate incident and return lenses, can deliver incident light from a light source to the sample, and can collect light from the sample. Confocal optics can direct the collected light onto a detector. The system can average the incident light over multiple locations at the sample, for example, by scanning the incident light with a pivotable mirror in the incident and return optical paths, or by illuminating and collecting with multiple spaced-apart confocal apertures. The system can average the collected light, for example, by directing the collected light onto a single-pixel detector, or by directing the collected light onto a multi-pixel detector and averaging the pixel output signals to form a single electronic signal. Averaging the incident and/or return light can be advantageous for structured or inhomogeneous samples.
(FR)L'invention concerne un système d'inspection confocal qui peut caractériser optiquement un échantillon. Un objectif, ou des lentilles incidentes et de retour séparées, peut distribuer une lumière incidente provenant d'une source de lumière à l'échantillon, et peut capter la lumière provenant de l'échantillon. Une optique confocale peut diriger la lumière captée sur un détecteur. Le système peut faire la moyenne de la lumière incidente sur de multiples emplacements au niveau de l'échantillon, par exemple, par balayage de la lumière incidente avec un miroir pivotant dans les trajets optiques incidents et de retour, ou par illumination et captage avec de multiples ouvertures confocales espacées. Le système peut faire la moyenne de la lumière captée, par exemple, en dirigeant la lumière captée sur un détecteur de pixel unique, ou en dirigeant la lumière captée sur un détecteur de multiples pixels et en faisant la moyenne des signaux de sortie de pixel pour former un signal électronique unique. Un établissement de la moyenne de la lumière incidente et/ou de retour peut être avantageux pour des échantillons structurés ou non-homogènes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)