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1. (WO2016105404) THIN CHANNEL REGION ON WIDE SUBFIN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/105404    International Application No.:    PCT/US2014/072276
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 23.12.2014
IPC:
H01L 29/78 (2006.01), H01L 21/336 (2006.01)
Applicants: INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: GARDNER, Sanaz K.; (US).
RACHMADY, Willy; (US).
METZ, Matthew V.; (US).
DEWEY, Gilbert; (US).
KAVALIEROS, Jack T.; (US).
MOHAPATRA, Chandra S.; (US).
MURTHY, Anand S.; (US).
RAHHAL-ORABI, Nadia; (US).
ZELICK, Nancy M.; (US).
GHANI, Tahir; (US)
Agent: RICHARDS, II, E.E. "Jack"; (US)
Priority Data:
Title (EN) THIN CHANNEL REGION ON WIDE SUBFIN
(FR) RÉGION DE CANAL MINCE SUR SOUS-AILETTE LARGE
Abstract: front page image
(EN)An embodiment includes a device comprising: a fin structure including an upper portion and a lower portion, the upper portion having a bottom surface directly contacting an upper surface of the lower portion; wherein (a) the lower portion is included in a trench having an aspect ratio (depth to width) of at least 2:1; (b) the bottom surface has a bottom maximum width and the upper surface has an upper maximum width that is greater the bottom maximum width; (c) the bottom surface covers a middle portion of the upper surface but does not cover lateral portions of the upper surface; and (d) the upper portion includes an upper III-V material and the lower portion includes a lower III-V material different from the upper III-V material. Other embodiments are described herein.
(FR)L'invention concerne, dans un mode de réalisation, un dispositif comportant: un structure d'ailette comprenant une partie haute et une partie basse, la partie haute présentant une surface inférieure en contact direct avec un surface supérieure de la partie basse; (a) la partie basse étant comprise dans une tranchée présentant un facteur de forme (profondeur à largeur) d'au moins 2:1; (b) la surface inférieure présentant une largeur maximale inférieure et la surface supérieure présentant une largeur maximale supérieure plus grande que la largeur maximale inférieure; (c) la surface inférieure recouvrant une partie médiane de la surface supérieure mais ne recouvrant pas des parties latérales de la surface supérieure; et (d) la partie haute comprenant un matériau III-V supérieur et la partie basse comprenant un matériau III-V inférieur différent du matériau III-V supérieur. D'autres modes de réalisation sont décrits ici.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)