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1. (WO2016104669) LIGHT-CURABLE COMPOSITION FOR IMPRINT, PATTERN FORMATION METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/104669    International Application No.:    PCT/JP2015/086164
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 25.12.2015
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B41M 5/00 (2006.01), C08F 2/44 (2006.01), C08F 2/50 (2006.01), C08F 220/22 (2006.01), C09D 4/02 (2006.01), C09D 7/12 (2006.01), C09D 11/30 (2014.01)
Applicants: FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620 (JP)
Inventors: KITAGAWA Hirotaka; (JP).
GOTO Yuichiro; (JP)
Agent: SIKS & CO.; 8th Floor, Kyobashi-Nisshoku Bldg., 8-7, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP)
Priority Data:
2014-261756 25.12.2014 JP
Title (EN) LIGHT-CURABLE COMPOSITION FOR IMPRINT, PATTERN FORMATION METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) COMPOSITION DURCISSABLE À LA LUMIÈRE POUR IMPRESSION, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) インプリント用光硬化性組成物、パターン形成方法およびデバイスの製造方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a light-curable composition for imprint having an excellent release property and an excellent temporal stability of the release property, a pattern formation method, and a device manufacturing method. This light-curable composition for imprint contains: a monofunctional chain aliphatic (meth)acrylate (A1) that does not contain a fluorine atom; a polyfunctional (meth)acrylate (A2) that is at least bifunctional and that does not contain a fluorine atom; a monofunctional (meth)acrylate (B) containing a fluorine atom; and a photopolymerization initiator (C). The monofunctional chain aliphatic (meth)acrylate (A1) that does not contain a fluorine atom has a boiling point of 100-200°C at a pressure of 0.67 kPa. The monofunctional (meth)acrylate (B) containing a fluorine atom has a boiling point of 100-200°C at a pressure of 0.67 kPa.
(FR)La présente invention concerne une composition durcissable à la lumière pour impression ayant une excellente propriété de libération et une excellente stabilité temporelle de la propriété de libération, un procédé de formation de motif, et un procédé de fabrication de dispositif. Cette composition durcissable à la lumière pour impression contient : un (méth)acrylate aliphatique à chaîne monofonctionnelle (A1) qui ne contient pas un atome de fluor ; un (méth)acrylate polyfonctionnel (A2) qui est au moins bifonctionnel et qui ne contient pas un atome de fluor ; un (méth)acrylate monofonctionnel (B) contenant un atome de fluor ; et un initiateur de photopolymérisation (C). Le (méth)acrylate aliphatique à chaîne monofonctionnelle (A1) qui ne contient pas un atome de fluor a un point d'ébullition de 100 à 200 °C à une pression de 0,67 kPa. Le (méth)acrylate monofonctionnel (B) contenant un atome de fluor a un point d'ébullition de 100 à 200 °C à une pression de 0,67 kPa.
(JA) 離型性および、離型性の経時安定性が良好なインプリント用光硬化性組成物、パターン形成方法およびデバイスの製造方法を提供する。 このインプリント用光硬化性組成物は、フッ素原子を含まない単官能の鎖状脂肪族(メタ)アクリレート(A1)と、フッ素原子を含まない2官能以上の多官能(メタ)アクリレート(A2)と、フッ素原子を含む単官能の(メタ)アクリレート(B)と、光重合開始剤(C)と、を含有し、フッ素原子を含まない単官能の鎖状脂肪族(メタ)アクリレート(A1)は、0.67kPaの圧力のもとで、沸点が100~200℃であり、フッ素原子を含む単官能の(メタ)アクリレート(B)は、0.67kPaの圧力のもとで、沸点が100~200℃である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)