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1. (WO2016104513) METHOD FOR CONTROLLING MOVING BODY, EXPOSURE METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, MOVING BODY APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/104513    International Application No.:    PCT/JP2015/085850
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 22.12.2015
IPC:
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: UEDA, Akihiro; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; (JP)
Priority Data:
2014-259758 24.12.2014 JP
Title (EN) METHOD FOR CONTROLLING MOVING BODY, EXPOSURE METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, MOVING BODY APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ D'EXPOSITION DE CORPS, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF, APPAREIL DE CORPS MOBILE, ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 移動体の制御方法、露光方法、デバイス製造方法、移動体装置、及び露光装置
Abstract: front page image
(EN)This method for controlling a moving body includes: a step for detecting a portion of lattice marks from among a plurality of lattice marks provided on a wafer (W) mounted on the moving body (22), which can move in an X-Y plane, while the moving body (22) is moved in the Y-axis direction, the portion of the marks being detected while a measurement beam radiated from a mark detection system (50) on the portion of the lattice marks is scanned in the Y-axis direction; a step for measuring the radiation position of the measurement beam on the portion of the lattice marks; and a step for moving the measurement beam and the moving body (22) relative to each other as pertains to the X-axis direction on the basis of the measurement result of the radiation position, and detecting other lattice marks while scanning the measurement light in the Y-axis direction.
(FR)La présente invention concerne un procédé de commande d'un corps mobile qui comprend : une étape de détection d’une partie de marques de réseau parmi une pluralité de marques de réseau disposées sur une tranche (W) installées sur le corps mobile (22), qui peut se déplacer dans un plan X-Y, tandis que le corps mobile (22) est déplacé dans la direction de l'axe Y, la partie des marques étant détectées tandis qu'un faisceau de mesure irradié depuis un système de détection de marque (50) sur la partie des marques de réseau est balayée dans la direction de l'axe Y ; une étape de mesure de la position de rayonnement du faisceau de mesure sur la partie des marques de réseau ; et une étape de déplacement du faisceau de mesure et du corps mobile (22) l'un par rapport à l'autre le long de la direction d'axe X sur la base du résultat de mesure de la position de rayonnement, et la détection d'autres marques de réseau tout en balayant la lumière de mesure dans la direction de l'axe Y.
(JA) 移動体の制御方法は、XY平面内を移動可能な移動体(22)をY軸方向に移動させつつ、該移動体(22)に載置されたウエハ(W)に設けられた複数の格子マークのうちの一部の格子マークに対してマーク検出系(50)から照射される計測ビームをY軸方向に走査しながら該一部の格子マークを検出する工程と、一部の格子マーク上における計測ビームの照射位置を計測する工程と、照射位置の計測結果に基づいてX軸方向に関して計測ビームと移動体(22)とを相対的に移動させるとともに、計測光をY軸方向に走査しながら他の格子マークを検出する工程と、を含む。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)