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1. (WO2016104223) WAVEFRONT DISTORTION AMOUNT MEASUREMENT DEVICE, WAVEFRONT CORRECTION DEVICE, AND OPTICAL MEASUREMENT DEVICE AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/104223    International Application No.:    PCT/JP2015/084955
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 14.12.2015
IPC:
G01M 11/02 (2006.01), G01J 9/02 (2006.01), G01N 21/64 (2006.01), G02F 1/39 (2006.01)
Applicants: RIKEN [JP/JP]; 2-1, Hirosawa, Wako-shi, Saitama 3510198 (JP)
Inventors: ISOBE, Keisuke; (JP).
MIDORIKAWA, Katsumi; (JP)
Agent: KAWAGUCHI, Yoshiyuki; (JP)
Priority Data:
2014-266374 26.12.2014 JP
Title (EN) WAVEFRONT DISTORTION AMOUNT MEASUREMENT DEVICE, WAVEFRONT CORRECTION DEVICE, AND OPTICAL MEASUREMENT DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE QUANTITÉ DE DISTORSION DE FRONT D’ONDE, DISPOSITIF DE CORRECTION DE FRONT D’ONDE, ET DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE OPTIQUE
(JA) 波面歪み量測定装置、波面補償装置、光学測定装置、および方法
Abstract: front page image
(EN)A wavefront distortion amount measurement device according to the present invention is provided with: a wavefront modulator (14, 30, 130, 230) disposed at the pupil plane of a lens (21, 29, 229) or in a position conjugate to the pupil plane, an optical detector (23, 32, 132, 232) for detecting the intensity distribution of incident light having passed through the wavefront modulator and lens, a control means for controlling the phase modulation amount of the wavefront modulator, an interference component acquisition means for acquiring an interference component of light having passed through a prescribed area and light other than the light having passed through the prescribed area on the basis of the intensity distribution obtained by the optical detector when the phase modulation amount applied to the prescribed area by the wavefront modulator is changed, and a wavefront distortion amount calculation means for applying the Fourier transform to the interference component and calculating the phase component of the interference component having had the Fourier transform applied thereto as a wavefront distortion amount. The above configuration makes it possible to accurately and quickly measure and correct wavefront distortion. A wavefront distortion amount measurement device according to the present invention can be suitably applied to an optical correction device that corrects wavefront distortion or an optical measurement device that corrects wavefronts and carries out measurement.
(FR)Un dispositif de mesure de quantité de distorsion de front d’onde selon la présente invention est pourvu de : un modulateur de front d'onde (14, 30, 130, 230) disposé dans le plan de la pupille d’une lentille (21, 29, 229) ou à une position conjuguée au plan de pupille, un détecteur optique (23, 32, 132, 232) pour détecter la distribution d'intensité de lumière incidente ayant traversé le modulateur de front d'onde et la lentille, un moyen de commande pour réguler la quantité de modulation de phase du modulateur de front d'onde, un moyen d'acquisition de composante d'interférence pour acquérir une composante d'interférence de lumière ayant traversé une zone prescrite et de lumière autre que la lumière ayant traversé la zone prescrite sur la base de la distribution d'intensité obtenue par le détecteur optique lorsque la quantité de modulation de phase appliquée à la zone prescrite par le modulateur de front d'onde est modifiée, et un moyen de calcul de quantité de distorsion de front d'onde pour appliquer la transformée de Fourier à la composante d'interférence et le calcul de la composante de phase de la composante d'interférence à laquelle a été appliquée la transformée de Fourier en tant que quantité de distorsion de front d'onde. La configuration ci-dessus permet de mesurer et corriger précisément et rapidement une distorsion de front d’onde. Un dispositif de mesure de quantité de distorsion de front d’onde selon la présente invention peut être appliqué de manière appropriée à un dispositif de correction optique qui corrige une distorsion de front d’onde ou un dispositif de mesure optique qui corrige des fronts d’onde et effectue une mesure.
(JA) 本発明の波面歪み量測定装置は、レンズ(21,29,229)の瞳面もしくは当該瞳面と共役な位置に配置された波面変調器(14,30,130,230)と、前記波面変調器および前記レンズを介して入射する光の強度分布を検出する光検出器(23,32,132,232)と、前記波面変調器の位相変調量を制御する制御手段と、前記波面変調器の前記局所領域に与える位相変調量を変化させた際に前記光検出器から得られる強度分布に基づいて、前記局所領域を通過する光と前記局所領域以外を通過する光の干渉成分を取得する干渉成分取得手段と、前記干渉成分をフーリエ変換し、フーリエ変換された干渉成分の位相成分を波面歪み量として算出する波面歪み量算出手段と、を備える。上記構成 により波面歪み量の測定および補償を正確かつ高速に行える。本発明の波面歪み量測定装置は、波面歪みを補償する補償光学装置や、波面補償をして測定を行う光学測定装置に好適に適用できる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)