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1. (WO2016104122) METHOD FOR CREATING SEPARATION START PORTION FOR LAYERED BODIES, DEVICE FOR CREATING SEPARATION START PORTION, AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/104122    International Application No.:    PCT/JP2015/084272
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 07.12.2015
IPC:
B65H 41/00 (2006.01), B32B 7/06 (2006.01), G09F 9/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 5-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008405 (JP)
Inventors: TATEYAMA Yuki; (JP).
ITO Yasunori; (JP).
UTSUGI Hiroshi; (JP)
Agent: EIKOH PATENT FIRM, P.C.; Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2014-263880 26.12.2014 JP
Title (EN) METHOD FOR CREATING SEPARATION START PORTION FOR LAYERED BODIES, DEVICE FOR CREATING SEPARATION START PORTION, AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ POUR CRÉER UNE PARTIE DE DÉBUT DE SÉPARATION POUR CORPS EN COUCHES, DISPOSITIF POUR CRÉER UNE PARTIE DE DÉBUT DE SÉPARATION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) 積層体の剥離開始部作成方法、及び剥離開始部作成装置並びに電子デバイスの製造方法
Abstract: front page image
(EN)A method for creating a separation start portion for layered bodies in which, with respect to a layered body where a first substrate and a second substrate are attached so as to be separable with an adhering layer therebetween, a knife is inserted a predetermined amount from an end face of the layered body at an interface of the first substrate and the adhering layer and a separation start portion is created at the interface. The knife comprises a body portion, a cutting edge portion that is tapered in the side view and that is continuous with the body portion, and a ridge that is the boundary between the body portion and the cutting edge portion. At least a portion of the adhering layer is cut by a ridge portion that includes the ridge.
(FR)L'invention concerne un procédé pour créer une partie de début de séparation pour des corps en couches, dans lequel procédé, en ce qui concerne un corps en couches où un premier substrat et un second substrat sont fixés de manière à être séparables avec une couche adhésive entre eux, un couteau est inséré à une profondeur prédéterminée à partir d'une face d'extrémité du corps en couches au niveau d'une interface du premier substrat et de la couche adhésive, et une partie de début de séparation est créée au niveau de l'interface. Le couteau comprend une partie corps, une partie bord de coupe qui est effilée en vue latérale et qui est continue avec la partie corps, et une arête qui constitue la limite entre la partie corps et la partie bord de coupe. Au moins une partie de la couche adhésive est coupée par une partie arête qui comprend l'arête.
(JA) 積層体の剥離開始部作成方法は、第1の基板と第2の基板とが吸着層を介して剥離可能に貼り付けられた積層体に対して、第1の基板と吸着層との界面に積層体の端面からナイフを所定量挿入して界面に剥離開始部を作成する。ナイフは、本体部と、本体部と連続して側面視で先細りの刃先部と、本体部と刃先部との境界である稜線とを含み、稜線を含む稜線部により吸着層の少なくとも一部を削るようにした。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)