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1. (WO2016103893) VALVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/103893    International Application No.:    PCT/JP2015/080106
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 26.10.2015
IPC:
F16K 31/165 (2006.01), F16K 35/02 (2006.01)
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 2-3-2 Itachibori, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventors: ZHANG, Zhaohong; (JP).
MATSUDA, Takahiro; (JP)
Agent: WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016 (JP)
Priority Data:
2014-265531 26.12.2014 JP
Title (EN) VALVE
(FR) CLAPET
(JA) バルブ
Abstract: front page image
(EN)Provided is a valve which does not open even if an operating fluid is supplied erroneously and which can prevent gas from being supplied unintentionally to a semiconductor manufacturing device, etc. A valve 1 is provided with: a body 4 having formed therein a fluid inflow passage 4b and a fluid outflow passage 4c; a diaphragm 7 for opening and closing the fluid inflow passage 4b and the fluid outflow passage 4c; a stem 9 provided movable toward and away from the diaphragm 7 in order to cause the diaphragm 7 to open and close the fluid inflow passage 4b and the fluid outflow passage 4c; a bonnet 5 and a cap 6, which are connected to the body 4; a drive means (piston 10, operating fluid introduction chamber 10a, operating fluid introduction passage 10b, and first compression coil spring 11) provided within the bonnet 5 and the cap 6 and driving the stem 9 by means of operating fluid supplied from the outside; and a valve mechanism 20 provided to the bonnet 5 and the cap 6 and capable of opening and closing a passage for operating fluid leading to the drive means.
(FR)L'invention concerne un clapet qui ne s'ouvre pas même si un fluide d'actionnement est apporté par erreur et qui peut empêcher un gaz d'être apporté de façon non intentionnelle à un dispositif de fabrication de semi-conducteurs, etc. Un clapet 1 est pourvu : d'un corps 4 à l'intérieur duquel est formé un passage d'écoulement entrant de fluide 4b et un passage d'écoulement sortant de fluide 4c ; d'un diaphragme 7 pour ouvrir et fermer le passage d'écoulement entrant de fluide 4b et le passage d'écoulement sortant de fluide 4c ; d'une tige 9 prévue pour se rapprocher et s'éloigner du diaphragme 7 de façon à amener le diaphragme 7 ouvrir et à fermer le passage d'écoulement entrant de fluide 4b et le passage d'écoulement sortant de fluide 4c ; d'un capot 5 et d'un couvercle 6, qui sont reliés au corps 4 ; d'un moyen d'entraînement (piston 10, chambre d'introduction 10a de fluide d'actionnement, passage d'introduction 10b de fluide d'actionnement et premier ressort de compression hélicoïdal 11) disposé dans le capot 5 et le couvercle 6 et entraînant la tige 9 au moyen d'un fluide d'actionnement apporté depuis l'extérieur ; et d'un mécanisme de clapet 20 prévu sur le capot 5 et le couvercle 6, et pouvant ouvrir et fermer un passage pour fluide d'actionnement menant au moyen d'entraînement.
(JA) 誤って操作流体が供給されても開状態とならず、ガスが意図せず半導体製造装置等へ供給されるのを抑制可能なバルブ提供する。 バルブ1は、流体流入路4bおよび流体流出路4cが形成されたボディ4と、流体流入路4bおよび流体流出路4cを開閉するダイヤフラム7と、ダイヤフラム7により流体流入路4bおよび流体流出路4cを開閉させるために、ダイヤフラム7に対し近接および離間移動可能に設けられたステム9と、ボディ4に接続されるボンネット5およびキャップ6と、ボンネット5およびキャップ6内に設けられ外部から供給される操作流体によりステム9を駆動する駆動手段(ピストン10、操作流体導入室10a、操作流体導入路10b、および第1圧縮コイルばね11)と、ボンネット5およびキャップ6に設けられ、駆動手段への操作流体の通路を開閉可能な弁機構20と、を備えるバルブ 。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)