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1. (WO2016103834) GRAZING INCIDENCE X-RAY FLUORESCENCE SPECTROMETER AND GRAZING INCIDENCE X-RAY FLUORESCENCE ANALYZING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/103834    International Application No.:    PCT/JP2015/078041
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 02.10.2015
IPC:
G01N 23/223 (2006.01)
Applicants: RIGAKU CORPORATION [JP/JP]; 9-12, Matsubara-cho 3-chome, Akishima-shi, Tokyo 1968666 (JP)
Inventors: OMOTE, Kazuhiko; (JP).
YAMADA, Takashi; (JP)
Agent: SUGIMOTO, Shuji; (JP)
Priority Data:
2014-262464 25.12.2014 JP
Title (EN) GRAZING INCIDENCE X-RAY FLUORESCENCE SPECTROMETER AND GRAZING INCIDENCE X-RAY FLUORESCENCE ANALYZING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ANALYSE PAR FLUORESCENCE DE RAYONS X À INCIDENCE OBLIQUE
(JA) 斜入射蛍光X線分析装置および方法
Abstract: front page image
(EN)A grazing incidence X-ray fluorescence spectrometer (1) according to the present invention is provided with an X-ray source (2), a curved spectral element (4) for dispersing X-rays (3) from the X-ray source (2) and forming an X-ray beam (5) focused on a fixed position (15) on the surface of a sample (S), a slit (6) that is disposed between the curved spectral element (4) and sample (S) and has a linear opening (61), a slit movement means (7) for moving the slit (6) in a direction crossing the X-ray beam (5) passing through the linear opening (61), a glancing angle setting means (8) for setting the glancing angle (α) of the X-ray beam (5) to a desired angle by moving the slit (6) using the slit movement means (7), and a detector (10) for measuring the intensity of the X-ray fluorescence (9) emitted from the sample (S) irradiated by the X-ray beam (5).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'analyse par fluorescence de rayons X à incidence oblique (1) pourvu d'une source de rayons X (2), d'un élément spectral incurvé (4) permettant de disperser des rayons X (3) à partir de la source de rayons X (2) et de former un faisceau de rayons X (5) focalisé sur une position fixe (15) sur la surface d'un échantillon (S), d'une fente (6) qui est disposée entre l'élément spectral incurvé (4) et l'échantillon (S) et a une ouverture linéaire (61), d'un moyen de déplacement de fente (7) permettant de déplacer la fente (6) dans une direction croisant le faisceau de rayons X (5) traversant l'ouverture linéaire (61), d'un moyen de réglage d'angle d'incidence (8) permettant de régler l'angle d'incidence (α) du faisceau de rayons X (5) à un angle souhaité en déplaçant la fente (6) à l'aide du moyen de déplacement de fente (7), et d'un détecteur (10) permettant de mesurer l'intensité de la fluorescence aux rayons X (9) émise à partir de l'échantillon (S) irradiée par le faisceau de rayons X (5).
(JA)本発明の斜入射蛍光X線分析装置(1)は、X線源(2)と、X線源(2)からのX線(3)を分光し、試料(S)の表面の一定位置(15)に集光するX線ビーム(5)を形成する湾曲分光素子(4)と、湾曲分光素子(4)と試料(S)との間に配置され、線状開口(61)を有するスリット(6)と、線状開口(61)を通過するX線ビーム(5)と交叉する方向へスリット(6)を移動させるスリット移動手段(7)と、スリット移動手段(7)によってスリット(6)を移動させてX線ビーム(5)の視射角(α)を所望の角度に設定する視射角設定手段(8)と、X線ビーム(5)を照射された試料(S)から発生する蛍光X線(9)の強度を測定する検出器(10)と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)