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Pub. No.:    WO/2016/103622    International Application No.:    PCT/JP2015/006221
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 14.12.2015
G01N 21/958 (2006.01), G01M 11/00 (2006.01), G01N 21/84 (2006.01)
Applicants: GOYO CO., LTD. [JP/JP]; 9-5, Nishitenma 4-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300047 (JP).
TSUDA, Akinori [JP/JP]; (JP)
Inventors: TSUDA, Akinori; (JP)
Agent: NII, Hiromori; (JP)
Priority Data:
2014-265684 26.12.2014 JP
(JA) 外観検査装置および検査システム
Abstract: front page image
(EN)An external appearance inspection device (10) for inspecting the external appearance of an object of inspection using a reflected light image formed by light reflected by the object of inspection is provided with: a light source unit (13) that is positioned opposite from a surface to be observed of the object of inspection and emits light toward the object of inspection; a half mirror (14) that is positioned on the side of the surface to be observed of the object of inspection, reflects the light emitted from the light source unit (13) toward the surface to be observed, and transmits the light reflected by the surface to be observed; and a light blocking body (15) that is disposed between the light source unit (13) and object of inspection and blocks all light from among the light emitted from the light source unit (13) that is emitted in a direction of direct irradiation onto the object of inspection. The light source unit (13) is the only light source for the light that forms the reflected light image and irradiates the emitted light onto the surface of the half mirror (14) opposing the object of inspection with a roughly even illuminance. The half mirror (14) does not have a hole or gap within the area that reflects the light emitted from the light source unit (13) toward the surface to be observed.
(FR)L'invention concerne un dispositif (10) d'inspection d'apparence externe, destiné à inspecter l'apparence externe d'un objet d'inspection à l'aide d'une image en lumière réfléchie formée par la lumière réfléchie par l'objet d'inspection. Le dispositif comprend : une unité (13) source de lumière, placée à l'opposé d'une surface à observer de l'objet d'inspection et émettant de la lumière vers l'objet d'inspection; un demi-miroir (14) placé sur le côté de la surface à observer de l'objet d'inspection, reflétant la lumière émise par l'unité (13) source de lumière vers la surface à observer et transmettant la lumière réfléchie par la surface à observer; et un corps (15) de blocage de la lumière disposé entre l'unité (13) source de lumière et l'objet d'inspection et qui bloque toute la lumière parmi la lumière émise par l'unité (13) source de lumière qui est émise dans une direction d'irradiation directe sur l'objet d'inspection. L'unité (13) source de lumière est la seule source de lumière pour la lumière qui forme l'image en lumière réfléchie et irradie la lumière émise sur la surface du demi-miroir (14) opposée à l'objet d'inspection avec une intensité de flux lumineux approximativement régulière. Le demi-miroir (14) n'a pas de trou ou d'espace à l'intérieur de la zone qui réfléchit la lumière émise à partir de l'unité (13) source de lumière vers la surface à observer.
(JA) 被検物が反射する光がなす反射光像によって前記被検物の外観を検査する外観検査装置(10)は、前記被検物の被観察面の反対側に位置し、前記被検物に向けて光を出射する光源部(13)と、前記被検物の被観察面側に位置し、前記光源部(13)から出射された光を前記被観察面に向けて反射させるとともに、前記被観察面で反射された光を透過させるハーフミラー(14)と、前記光源部(13)と前記被検物との間に配置され、前記光源部(13)から出射された光のうち、前記被検物に直接照射される方向に出射された光をすべて遮る遮光体(15)とを備え、前記光源部(13)は前記反射光像をなす光の唯一の光源であって、前記出射した光で前記ハーフミラー(14)の前記被検物に対向する面を略一様の照度で照射し、前記ハーフミラー(14)は、前記光源部(13)から出射された光を前記被観察面に向けて反射する領域内に穴および隙間を有しない。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)