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1. (WO2016102771) NOZZLE HEAD AND APPARATUS FOR COATING SUBSTRATE SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/102771    International Application No.:    PCT/FI2015/050923
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 21.12.2015
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01)
Applicants: BENEQ OY [FI/FI]; Olarinluoma 9 02200 Espoo (FI)
Inventors: SOININEN, Pekka; (FI).
PEKONEN, Olli; (FI)
Agent: KOLSTER OY AB; Iso Roobertinkatu 23 P.O.Box 148 00121 Helsinki (FI)
Priority Data:
20146132 22.12.2014 FI
Title (EN) NOZZLE HEAD AND APPARATUS FOR COATING SUBSTRATE SURFACE
(FR) TÊTE DE BUSE ET APPAREIL POUR REVÊTIR LA SURFACE D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a nozzle head, (5, 40, 50), apparatus and method for providing a coating on a surface (3) of a substrate (1, 48) by subjecting the surface (3) of the substrate (1 48) to successive surface reactions of at least two precursors (A, B; C, D; E, F) according to principles of atomic layer deposition. The nozzle head (5, 40, 50) comprises an output face (11, 45, 51) provided with at least two different precursor zones (A+B, C+D, E+F), the at least two different precursor zones (A+B, C+D, E+F) being arranged to provide different coating layers (AB, CD, EF) on the surface (3) of the substrate (1).
(FR)La présente invention concerne une tête de buse, (5, 40, 50), un appareil et un procédé pour la fourniture d'un revêtement sur la surface (3) d'un substrat (1, 48) en soumettant la surface (3) du substrat (1, 48) à des réactions de surface successives d'au moins deux précurseurs (A, B ; C, D ; E, F) selon les principes de dépôt de couche atomique. La tête de buse (5, 40, 50) comprend une face de sortie (11, 45, 51) pourvue d'au moins deux zones précurseurs différentes (A+B, C+D, E+F), les au moins deux zones précurseurs différentes (A+B, C+D, E+F) étant agencées de façon à fournir différentes couches de revêtement (AB, CD, EF) sur la surface (3) du substrat (1).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)