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1. (WO2016102673) RADIATION SOURCE MODULE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/102673    International Application No.:    PCT/EP2015/081169
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 23.12.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: PATRA, Michael; (DE).
WOLF, Alexander; (DE).
SCHWAB, Markus; (DE).
GRUNER, Toralf; (DE).
HARTJES, Joachim; (DE)
Agent: RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Priority Data:
10 2014 226 921.0 23.12.2014 DE
10 2014 226 918.0 23.12.2014 DE
10 2014 226 920.2 23.12.2014 DE
10 2014 226 917.2 23.12.2014 DE
Title (EN) RADIATION SOURCE MODULE
(FR) MODULE SOURCE DE RAYONNEMENT
Abstract: front page image
(EN)A radiation source module (2) for an illumination system (19) of a projection exposure system (1) comprising a plurality M of scanners (3i) comprises an output coupling optical unit (9) com prising at least one means for dividing a collective output beam (8) having a total intensity into a plurality (M) of individual output beams (10i) having individual intensities, wherein the means for dividing the collective output beam (8) comprises a means for varying a division ratio of the total intensity of the collective output beam (8) into the individual intensities of the individual output beams (10i).
(FR)Un module source de rayonnement (2) pour un système d'éclairage (19) d'un système d'exposition par projection (1) comprenant une pluralité M de dispositifs de balayage (3i) comprend une unité optique de couplage de sortie (9) comprenant au moins un moyen pour diviser un faisceau de sortie collectif (8) ayant une intensité totale, en une pluralité (M) de faisceaux de sortie individuels (10i) ayant des intensités différentes, les moyens de division du faisceau de sortie collectif (8) comprenant un moyen pour faire varier un rapport de division de l'intensité totale du faisceau de sortie collectif (8) en les intensités individuelles des faisceaux de sortie individuels (10i).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)