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1. (WO2016102131) THERMAL CONDITIONIG METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/102131    International Application No.:    PCT/EP2015/077426
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 24.11.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: CADEE, Theodorus, Petrus, Maria; (NL).
DE SMET, Benjamin, Joseph; (NL).
DONDERS, Sjoerd, Nicolaas, Lambertus; (NL).
VERDONCK, Adrianus, Marinus; (NL)
Agent: DUNG, S.; (NL)
Priority Data:
14199555.5 22.12.2014 EP
Title (EN) THERMAL CONDITIONIG METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE CONDITIONNEMENT THERMIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method of thermally conditioning a physical object, comprises: • guiding a two phase cooling medium through a cooling duct (CDU) provided in the physical object (PHO), the cooling duct extending from a supply side (SUS of the physical object where the two phase cooling medium enters the cooling duct, to a discharging side (DIS) of the physical object where the two phase cooling medium discharges from the cooling duct, • the cooling duct comprising a pre heating duct (PDU), a phase transitioning duct (TRA) and a discharging duct (DDU), • wherein the guiding the two phase cooling medium through the cooling duct provided in the physical object comprises: • guiding the two phase cooling medium in a liquid phase via the pre heating duct from the supply side at least partly towards the discharging side of the physical object, the two phase cooling medium being pre-heated in the pre-heating duct; • guiding the two phase cooling medium from the pre heating duct to the phase transitioning duct, the phase transitioning duct extending from the supply side to the discharging side of the physical object, the two phase cooling medium at least partly transitioning from the liquid phase towards a gas phase in the phase transitioning duct; • guiding the two phase cooling medium from the phase transitioning duct to the discharging duct; and • discharging at the discharging side the two phase cooling medium from the discharging duct.
(FR)L'invention concerne un procédé de conditionnement thermique d'un objet physique, qui consiste : • à guider un milieu de refroidissement à deux phases à travers un conduit de refroidissement (CDU) disposé dans l'objet physique (PHO), le conduit de refroidissement s'étendant d'un côté alimentation (SUS) de l'objet physique où le milieu de refroidissement à deux phases pénètre dans le conduit de refroidissement, à un côté d'évacuation (DIS) de l'objet physique où le milieu de refroidissement à deux phases sort du conduit de refroidissement, • le conduit de refroidissement comprenant un conduit de pré-chauffage (PDU), un conduit à transition de phase (TRA) et un conduit d'évacuation (DDU), • le guidage du milieu de refroidissement à deux phases à travers le conduit de refroidissement disposé dans l'objet physique consistant : • à guider le milieu de refroidissement à deux phases dans une phase liquide par l'intermédiaire du conduit de pré-chauffage du côté alimentation au moins partiellement vers le côté d'évacuation de l'objet physique, le milieu de refroidissement à deux phases étant pré-chauffé dans le conduit de pré-chauffage; • à guider le milieu de refroidissement à deux phases du conduit de pré-chauffage au conduit à transition de phase, le conduit à transition de phase s'étendant du côté alimentation au côté d'évacuation de l'objet physique, le milieu de refroidissement à deux phases passant au moins partiellement de la phase liquide vers une phase gazeuse dans le conduit à transition de phase; • à guider le milieu de refroidissement à deux phases du conduit à transition de phase au conduit d'évacuation; et • au niveau du côté d'évacuation, à évacuer le milieu de refroidissement à deux phases à partir du conduit d'évacuation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)