WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016102127) LEVEL SENSOR, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/102127    International Application No.:    PCT/EP2015/077104
Publication Date: 30.06.2016 International Filing Date: 19.11.2015
IPC:
G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: REIJNDERS, Marinus, Petrus; (NL)
Agent: VERDONK, Peter; (NL)
Priority Data:
14199544.9 22.12.2014 EP
Title (EN) LEVEL SENSOR, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) CAPTEUR DE NIVEAU, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF
Abstract: front page image
(EN)A level sensor configured to determine a height level of a substrate is described, the level sensor comprising: - a projection unit configured to project a measurement beam on the substrate, the projection unit comprising a projection grating having a period P, the projection grating being configured to impart the measurement beam, thereby obtaining a patterned measurement beam having a periodically varying intensity distribution in a first direction having the period P; - a detection unit to receive a reflected patterned measurement beam after reflection on the substrate; the reflected patterned measurement beam having a periodically varying intensity distribution in a second direction, having the period P; wherein the detection unit comprises a sensor array configured to receive the reflected patterned measurement beam having the periodically varying intensity distribution, whereby the sensor array comprises a plurality of sensing elements, the plurality of sensing elements being arranged along the second direction at a pitch p that is smaller than or equal to half the period P, and; - a processing unit configured to receive, at an input, one or more sensor signals from the sensor array and to determine the height level of the substrate based on the one or more sensor signals received from the sensor array.
(FR)La présente invention se rapporte à un capteur de niveau qui est conçu pour déterminer un niveau de hauteur d'un substrat, le capteur de niveau comprenant : - une unité de projection qui est prévue pour projeter un faisceau de mesure sur le substrat, l'unité de projection comportant un réseau de projection qui a une période P, le réseau de projection étant destiné à transmettre le faisceau de mesure, ce qui permet d'obtenir un faisceau de mesure structuré ayant une répartition de l'intensité qui varie périodiquement dans une première direction ayant la période P; - une unité de détection qui sert à recevoir un faisceau de mesure structuré réfléchi après réflexion sur le substrat, ce faisceau de mesure structuré réfléchi ayant une répartition de l'intensité qui varie périodiquement dans une seconde direction ayant la période P, l'unité de détection incluant un réseau de capteurs conçu pour recevoir le faisceau de mesure structuré réfléchi ayant une répartition de l'intensité qui varie périodiquement, grâce à quoi le réseau de capteurs comporte une pluralité d'éléments de détection, la pluralité d'éléments de détection étant placée dans la seconde direction selon un pas p qui est inférieur ou égal à la moitié de la période P; et - une unité de traitement prévue pour recevoir, à une entrée, un ou plusieurs signaux de capteur en provenance du réseau de capteurs, et pour déterminer le niveau de hauteur du substrat sur la base dudit ou desdits signaux de capteur reçus en provenance du réseau de capteurs.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)