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1. (WO2016100242) SUBSTRATE RINSING SYSTEMS AND METHODS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/100242    International Application No.:    PCT/US2015/065648
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 14.12.2015
IPC:
H01L 21/302 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: FRANKEL, Jonathan S.; (US).
BROWN, Brian J.; (US).
FRANCISCHETTI, Vincent S.; (US).
MCHUGH, Paul; (US).
HANSON, Kyle M.; (US).
MIKHAYLICHENKO, Ekaterina; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; (US)
Priority Data:
62/094,938 19.12.2014 US
14/626,903 19.02.2015 US
Title (EN) SUBSTRATE RINSING SYSTEMS AND METHODS
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RINÇAGE DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(EN)An example waterfall apparatus includes (1) a first portion of a first width having (a) a first plenum, a second plenum, and a restricted fluid path therebetween; (b) a first coupling surface; and (c) an inlet opening that creates a fluid path between the first coupling surface and the first plenum; and (2) a second portion of a second width larger than the first width and having (a) a second coupling surface; and (b) an inlet aligned with the first portion inlet opening. The first and second coupling surfaces form a slot that extends along at least a portion of a length of the waterfall apparatus and that connects to the second plenum. Fluid introduced into the second portion inlet fills the first plenum, travels through the restricted fluid path to the second plenum, and exits the slot between the first and second portions to form a rinsing fluid waterfall.
(FR)L'invention concerne un appareil à cascade décrit à titre d'exemple, comprenant (1) une première partie d'une première largeur comportant (a) une première chambre de tranquillisation, une deuxième chambre de tranquillisation et un passage de fluide rétréci entre celles-ci; (b) une première surface de couplage; et (c) une ouverture d'entrée qui crée un passage de fluide entre la première surface de couplage et la première chambre de tranquillisation; et (2) un deuxième partie d'une deuxième largeur supérieure à la première largeur et comportant (a) une deuxième surface de couplage; et (b) une entrée alignée avec l'ouverture d'entrée de la première partie. Les première et deuxième surfaces de couplage forment une fente qui s'étend le long d'au moins une partie d'une longueur de l'appareil à cascade et qui se raccorde à la deuxième chambre de tranquillisation. Du fluide introduit dans l'entrée de la deuxième partie remplit la première chambre de tranquillisation, passe à travers le passage de fluide rétréci jusqu'à la deuxième chambre de tranquillisation, et sort par la fente entre les première et deuxième parties pour former une cascade de fluide de rinçage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)