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1. (WO2016099790) COMPONENTS FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING TOOL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/099790    International Application No.:    PCT/US2015/061643
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 19.11.2015
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: ATTUR, Sreenidhi; (IN)
Agent: PATTERSON, B. Todd; (US)
Priority Data:
62/094,484 19.12.2014 US
Title (EN) COMPONENTS FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING TOOL
(FR) COMPOSANTS POUR OUTIL DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE
Abstract: front page image
(EN)A component in a CMP tool disclosed herein having a surface and a hydrophobic layer deposited on the surface. In one example, the component is a component for delivering a fluid in a CMP tool. The component for delivering a fluid in a CMP tool includes an elongated member having a first end and a second end, and an elongated upper surface extending between the two ends. A hydrophobic layer is deposited on the elongated upper surface. In another example, the component is a ring shaped body having an upper side and a lower side. A hydrophobic layer is deposited on the inner surfaces of both the upper and lower sides. In another example, the component is a disk shaped body having a top surface, bottom surface, and ledge defined by the top and bottom surfaces. A hydrophobic layer is deposited on the surfaces and the ledge.
(FR)L'invention porte sur un composant, dans un outil de polissage mécano-chimique (CMP), ayant une surface et comportant une couche hydrophobe déposée sur la surface. Dans un exemple, le composant est un composant destiné à distribuer un fluide dans un outil CMP. Le composant destiné à distribuer un fluide dans un outil CMP comprend un élément allongé ayant une première extrémité et une seconde extrémité, et une surface supérieure allongée s'étendant entre les deux extrémités. Une couche hydrophobe est déposée sur la surface supérieure allongée. Dans un autre exemple, le composant est un corps annulaire ayant un côté supérieur et un côté inférieur. Une couche hydrophobe est déposée sur les surfaces intérieures des deux côtés supérieur et inférieur. Dans un autre exemple, le composant est un corps discoïde ayant une surface supérieure, une surface inférieure, et un rebord délimité par les surfaces supérieure et inférieure. Une couche hydrophobe est déposée sur les surfaces et le rebord.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)