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1. (WO2016098217) AMORPHOUS CARBON COATING FILM AND AMORPHOUS-CARBON-COATING-FILM-COVERED TOOL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/098217    International Application No.:    PCT/JP2014/083484
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 17.12.2014
IPC:
C01B 31/02 (2006.01), B23B 27/14 (2006.01), B23B 27/20 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01)
Applicants: OSG CORPORATION [JP/JP]; 22, Honnogahara 3-chome, Toyokawa-shi, Aichi 4420005 (JP)
Inventors: SAKURAI Masatoshi; (JP).
GONDA Hidenobu; (JP).
SUGITA Hiroaki; (JP)
Agent: IKEDA Haruyuki; (JP)
Priority Data:
Title (EN) AMORPHOUS CARBON COATING FILM AND AMORPHOUS-CARBON-COATING-FILM-COVERED TOOL
(FR) FILM DE REVÊTEMENT EN CARBONE AMORPHE ET OUTIL REVÊTU D'UN FILM DE REVÊTEMENT EN CARBONE AMORPHE
(JA) 非晶質炭素被膜および非晶質炭素被膜被覆工具
Abstract: front page image
(EN)Provided is an amorphous carbon coating film that has a hardness of 50 GPa or more, that does not peel off of a tool base material even when the coating film has a maximum thickness of more than 0.5 μm, and that has superior abrasion resistance even on cutting tools and the like. The present invention is formed by alternately laminating an A layer (a low-hydrogen amorphous carbon layer) 26 that has a hydrogen content of 3 at% or less and a thickness of 0.01-0.03 μm and a B layer (a high-hydrogen amorphous carbon layer) 28 that has a hydrogen content of more than 6 at% and a thickness that is equivalent to or less than the thickness of the A layer. As a result, the present invention can achieve an indentation hardness of 50 GPa or more, residual compressive stress that is caused by the hardness difference between the A layer 26 and a tool base material 22 is relieved by the B layer 28, and the present invention does not peel off of the tool base material 22 even at a maximum coating film thickness of more than 0.5 μm. Thus, a drill 10 wherein the tool base material 22 is partially or entirely covered by this amorphous carbon coating film 24 can achieve longevity as a tool and superior abrasion resistance.
(FR)L'invention concerne un film de revêtement en carbone amorphe qui a une dureté de 50 GPa ou plus, ne se décolle pas d'un matériau de base d'outil, même lorsque le film de revêtement a une épaisseur maximale supérieure à 0,5 μm, et présente une résistance supérieure à l'abrasion, même sur des outils de coupe et analogues. La présente invention est formée par stratification alternée d'une couche A (couche de carbone amorphe à faible teneur en hydrogène) 26 ayant une teneur en hydrogène de 3 % en fraction atomique ou moins et une épaisseur de 0,01 à 0,03 µm, et d'une couche B (couche de carbone amorphe à teneur élevée en hydrogène) 28 ayant une teneur en hydrogène de plus de 6 % en fraction atomique et une épaisseur équivalente ou inférieure à l'épaisseur de la couche A. En conséquence : la présente invention permet d'obtenir une dureté d'indentation de 50 GPa ou plus ; une contrainte de compression résiduelle due à la différence de dureté entre la couche A 26 et un matériau de base d'outil 22 est libérée par la couche B 28 ; et un film selon la présente invention ne se détache pas du matériau de base d'outil 22, même à une épaisseur de film de revêtement maximale supérieure à 0,5 µm. Ainsi, un foret 10 dont le matériau de base d'outil 22 est partiellement ou entièrement recouvert par ce film de revêtement en carbone amorphe 2 peut atteindre une longue durée de vie en tant qu'outil et une résistance supérieure à l'abrasion.
(JA) 50GPa以上の硬さを有し、且つ被膜の最大厚みが0.5μmを越えた場合でも工具母材から剥離することがなく、切削工具等においても優れた耐摩耗性が得られる非晶質炭素被膜を提供する。 水素含有量が3at%以下で且つ厚さが0.01μm~0.03μmのA層(低水素非晶質炭素層)26と、水素含有量が6at%を超え且つ前記A層の厚さと同等以下のB層(高水素非晶質炭素層)28とが、交互に積層されて成ることから、押し込み硬さで50GPa以上の硬さが得られるとともに、A層26と工具母材22との間の硬度差に起因する残留圧縮応力がB層28によって緩和され、0.5μmを越える被膜の最大厚みでも工具母材22から剥離することがない。このため、その非晶質炭素被膜24により工具母材22の一部或いは全部が被覆されたドリル10においては優れた耐摩耗性が得られ、長寿命の工具が得られる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)