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1. (WO2016098174) LASER IRRADIATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/098174    International Application No.:    PCT/JP2014/083183
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 15.12.2014
IPC:
H01S 3/13 (2006.01), H01S 3/101 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: KAKIZAKI Kouji; (JP).
SUWA Akira; (JP).
WAKABAYASHI Osamu; (JP)
Agent: HOSAKA Nobuhisa; (JP)
Priority Data:
Title (EN) LASER IRRADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION LASER
(JA) レーザ照射装置
Abstract: front page image
(EN)This laser irradiation device may be provided with: a laser device that outputs a pulsed laser beam; a beam scanning optical system that splits the pulsed laser beam to a plurality of optical paths, said pulsed laser beam having been outputted from the laser device; a plurality of beam homogenizers, which are respectively disposed to the optical paths, and respectively homogenize the light intensity distributions of the pulsed laser beams split to the optical paths; and a control unit that controls the beam scanning optical system such that the pulsed laser beam outputted from the laser device is split to the optical paths by each pulse.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'irradiation laser pouvant comprendre : un dispositif laser qui émet un faisceau laser pulsé ; un système optique de balayage de faisceau qui sépare le faisceau laser pulsé vers une pluralité de trajets optiques, ledit faisceau laser pulsé ayant été émis à partir du dispositif laser ; une pluralité d’homogénéisateurs de faisceau, qui sont respectivement disposés sur les trajets optiques, et qui homogénéisent respectivement les répartitions d'intensité lumineuse des faisceaux laser pulsés séparés vers les chemins optiques ; et une unité de commande qui commande le système optique de balayage de faisceau, de telle sorte que le faisceau laser pulsé émis par le dispositif laser est séparé vers les trajets optiques par chaque impulsion.
(JA)このレーザ照射装置は、パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力されたパルスレーザ光を複数の光路に振り分けるビームスキャン光学系と、複数の光路にそれぞれ配置され、複数の光路に振り分けられたパルスレーザ光の光強度分布をそれぞれ均一化する複数のビームホモジナイザと、レーザ装置から出力されたパルスレーザ光を、パルス毎に、複数の光路に振り分けるようにビームスキャン光学系を制御する制御部と、を備えてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)