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1. (WO2016097975) PHOTOCONDUCTIVE ANTENNA FOR TERAHERTZ WAVES, METHOD FOR PRODUCING SUCH PHOTOCONDUCTIVE ANTENNA AND TERAHERTZ TIME DOMAIN SPECTROSCOPY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/097975    International Application No.:    PCT/IB2015/059592
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 14.12.2015
IPC:
H01L 31/08 (2006.01), H01L 31/09 (2006.01)
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3 rue Michel Ange 75016 Paris (FR).
ECOLE NORMALE SUPERIEURE [FR/FR]; 45 rue d'Ulm 75320 Paris Cedex 05 (FR)
Inventors: DHILLON, Sukhdeep; (FR).
MAUSSANG, Kenneth; (FR)
Agent: ORES, Béatrice; (FR)
Priority Data:
14307065.4 17.12.2014 EP
Title (EN) PHOTOCONDUCTIVE ANTENNA FOR TERAHERTZ WAVES, METHOD FOR PRODUCING SUCH PHOTOCONDUCTIVE ANTENNA AND TERAHERTZ TIME DOMAIN SPECTROSCOPY SYSTEM
(FR) ANTENNE PHOTOCONDUCTRICE POUR ONDES TÉRAHERTZ, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE TELLE ANTENNE PHOTOCONDUCTRICE ET SYSTÈME DE SPECTROSCOPIE À DOMAINE TEMPOREL TÉRAHERTZ
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a metal-metal interdigitated photoconductive antenna that generates and/or detects terahertz waves, the photoconductive antenna comprising at least one substrate (1) and at least one electrode (2) on the front face of the substrate (1), wherein said photoconductive antenna comprises at least one layer (4) formed of a material reflective to terahertz waves, said layer (4) extending below the front face of the substrate (1) at a distance lower than the wavelength; and it comprises an interdigitated geometry on said front face of the substrate (1) comprising a first metallization layer of 5 nm Cr and 150 nm Au for the interdigitated electrodes (2), equally spaced by a distance Δ, is made on said front face of the substrate (1); a 500 nm-thick layer of SiO2 (5) deposited over the first metallization layer; and a second metallic layer composed of metallic fingers (6) covering gaps with a periodicity double that of the distance Δ.
(FR)La présente invention concerne une antenne photoconductrice interdigitée métal-métal qui génère et/ou détecte des ondes térahertz, l'antenne photoconductrice comprenant au moins un substrat (1) et au moins une électrode (2) sur la face avant du substrat (1), ladite antenne photoconductrice comprenant au moins une couche (4) formée d'un matériau réfléchissant pour ondes térahertz, ladite couche (4) s'étendant au-dessous de la face avant du substrat (1) à une distance inférieure à la longueur d'ondes; et comprenant une géométrie interdigitée sur ladite face avant du substrat (1) comprenant une première couche de métallisation de 5 nm de Cr et de 150 nm de Au pour les électrodes interdigitées (2), espacées de manière égale par une distance Δ, qui est prévue sur ladite face avant du substrat (1); une couche d'une épaisseur de 500 nm de SiO2 (5) déposée sur la première couche de métallisation; et une seconde couche métallique composée de doigts métalliques (6) recouvrant des interstices avec une périodicité représentant le double de la distance Δ.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)