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1. (WO2016097082) VACUUM CLAMPING DEVICE FOR GRIPPING WORKPIECES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/097082    International Application No.:    PCT/EP2015/080135
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 17.12.2015
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: MECHATRONIC SYSTEMTECHNIK GMBH [AT/AT]; Tiroler Strasse 80 9500 Villach (AT)
Inventors: OREMUS, Alexander; (AT)
Agent: MÜLLER, Thomas; (DE)
Priority Data:
10 2014 118 830.6 17.12.2014 DE
Title (DE) VAKUUMSPANNVORRICHTUNG ZUM AUFSPANNEN VON WERKSTÜCKEN
(EN) VACUUM CLAMPING DEVICE FOR GRIPPING WORKPIECES
(FR) DISPOSITIF DE SERRAGE À VIDE DESTINÉ AU SERRAGE DE PIÈCES
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft unter anderem eine Vakuumspannvorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken, insbesondere zum Aufspannen von flachen Substraten, mit einer Vakuumspannplatte (10), die über ihre Fläche verteilt eine Anzahl von Ansaugöffnungen (16) aufweist, die in einer Ansaugoberfläche (14) der Vakuumspannplatte (10) ausgebildet sind, oder die mit einer Anzahl von Ansaugnuten (15) in Verbindung stehen, die in einer Ansaugoberfläche (14) der Vakuumspannplatte (10) ausgebildet sind, wobei die Vakuumspannplatte (10) zwei oder mehr voneinander getrennte, einzeln schaltbare Vakuumzonen (11, 12) aufweist, wobei jede Vakuumzone (11, 12) entsprechende Ansaugöffnungen (16) und/oder Ansaugnuten (15) mit Ansaugöffnungen (16) aufweist. Um die Vakuumspannvorrichtung derart weiterzubilden, dass mit dieser gezielt große Haltekräfte erzeugt werden können, wobei gleichzeitig eine Beschädigung der aufzuspannenden Werkstücke vermieden wird, ist vorgesehen, dass die Vakuumspannvorrichtung zwei oder mehr voneinander unabhängige Vakuumkreise aufweist, dass jede Vakuumzone (11, 12) einem der Vakuumkreise zugeordnet ist oder Bestandteil eines der Vakuumkreise ist, und dass jeder Vakuumkreis zum Erzeugen eines eigenständigen Vakuums ausgebildet ist.
(EN)The invention relates inter alia to a vacuum clamping device for gripping workpieces, in particular for gripping flat substrates, comprising a vacuum clamping plate (10) which has distributed over the surface thereof a plurality of intake openings (16) which are formed in an intake surface (14) of the vacuum clamping plate (10) or are in communication with a plurality of intake grooves (15) formed in an intake surface (14) of the vacuum clamping plate (10). The vacuum clamping plate (10) has two or more individually switchable vacuum zones (11, 12) which are separated from one another, wherein each vacuum zone (11, 12) has corresponding intake openings (16) and/or intake grooves (15) having intake openings (16). In order to make further developments to the vacuum clamping device in such a way that high holding forces can be produced specifically thereby, and simultaneously any damage to the workpieces to be gripped is avoided, according to the invention the vacuum clamping device has two or more vacuum circuits which are independent of one another, each vacuum zone (11, 12) is associated with one of the vacuum circuits or is a component of one of the vacuum circuits, and each vacuum circuit is designed to produce an independent vacuum.
(FR)L'invention concerne entre autre un dispositif de serrage à vide destiné à serrer des pièces, en particulier à serrer des substrats plats, comprenant une plaque de serrage à vide (10), qui présente une pluralité d’orifices d’aspiration (16) qui sont répartis sur toute l'étendue de sa surface et qui sont formés dans une surface d’aspiration (14) de la plaque de serrage à vide (10), ou qui sont reliés à une pluralité de rainures d’aspiration (15) qui sont formées dans une surface d’aspiration (14) de la plaque de serrage à vide (10). La plaque de serrage à vide (10) comprend deux zones de vide (11, 12) ou plus séparées l’une de l’autre et pouvant être commandées individuellement. Chaque zone de vide (11, 12) comprend des ouvertures d’aspiration (16) correspondantes et/ou des rainures d’aspiration (15) comprenant des ouvertures d’aspiration (16). L’invention vise à perfectionner le dispositif de serrage à vide de telle manière que ce dernier puisse produire de manière ciblée des forces de retenue importantes, une détérioration des pièces à serrer étant évitée par la même occasion. À cet effet, le dispositif de serrage à vide comprend deux circuits à vide ou plus indépendants les uns des autres, chaque zone de vide (11, 12) est associée à l’un des circuits à vide ou fait partie d’un des circuits à vide, et chaque circuit à vide est conçu pour produire un vide indépendant.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)