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1. (WO2016096322) OPTICAL ENCODER SYSTEM, ENCODER HEAD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/096322    International Application No.:    PCT/EP2015/077232
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 20.11.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G01D 5/26 (2006.01), G01D 5/28 (2006.01), G01D 5/34 (2006.01), G01D 5/347 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: IKKINK, Teunis; (NL).
MERKX, Leon; (NL).
VAN DER PUT, Jan; (NL).
VAN ZUTPHEN, Tom; (NL).
VREEDE, Olaf; (NL)
Agent: RAS, Michael; (NL)
Priority Data:
14199247.9 19.12.2014 EP
15170508.4 03.06.2015 EP
Title (EN) OPTICAL ENCODER SYSTEM, ENCODER HEAD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) SYSTÈME D'ENCODEUR OPTIQUE, TÊTE D'ENCODEUR ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abstract: front page image
(EN)An optical encoder system (200) comprises a radiation source (20), an encoder head (22), a scale (24) and an optical fiber (26). The radiation source is arranged to generate a radiation beam (28). The encoder head has a splitting element for splitting the radiation beam into split radiation beams (210a, 210b). The scale is arranged to receive at least one of the split radiation beams. The optical fiber is arranged to propagate the radiation beam at least partly between the radiation source and the splitting element. The optical fiber is a single-polarization fiber.
(FR)L'invention concerne un système d'encodeur optique (200) qui comprend une source de rayonnement (20), une tête d'encodeur (22), une échelle (24) et une fibre optique (26). La source de rayonnement est agencée pour générer un faisceau de rayonnement (28). La tête d'encodeur comporte un élément de division pour diviser le faisceau de rayonnement en des faisceaux de rayonnement divisés (210a, 210b). L'échelle est agencée pour recevoir au moins l'un des faisceaux de rayonnement divisés. La fibre optique est agencée de façon à propager le faisceau de rayonnement au moins partiellement entre la source de rayonnement et l'élément de division. La fibre optique est une fibre à polarisation unique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)