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1. (WO2016096227) TREATING MODULE OF AN APPARATUS FOR HORIZONTAL WET-CHEMICAL TREATMENT OF LARGE-SCALE SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/096227    International Application No.:    PCT/EP2015/075285
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 30.10.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH [DE/DE]; Erasmusstraße 20 10553 Berlin (DE)
Inventors: HAHN, Roland; (DE).
THOMAS, Christian; (DE).
NÖSSNER, Martin; (DE).
OTT, Thomas; (DE).
LORENZ, Olaf; (DE)
Agent: WONNEMANN, Jörg; (DE)
Priority Data:
14199222.2 19.12.2014 EP
Title (EN) TREATING MODULE OF AN APPARATUS FOR HORIZONTAL WET-CHEMICAL TREATMENT OF LARGE-SCALE SUBSTRATES
(FR) MODULE DE TRAITEMENT D'UN APPAREIL POUR LE TRAITEMENT HORIZONTAL CHIMIQUE PAR VOIE HUMIDE DE SUBSTRATS À GRANDE ÉCHELLE
Abstract: front page image
(EN)The present invention is related to a treating module of an apparatus for horizontal wet-chemical treatment of large-scale substrates, in particular glass substrates, comprising a housing with a housing cover; a transport device comprising a plurality of transport elements for horizontal processing of large-scale substrates, wherein the treating module further comprises at least a first liquid nozzle and at least a gas nozzle arranged above the transport level of the large-scale substrates at the entry of the treating module and at least another first liquid nozzle and at least another gas nozzle arranged above the transport level of the large-scale substrates at the exit of the treating module for accumulating treatment liquid inside of the treating module, wherein each gas nozzle is arranged more exterior than the respective first liquid nozzle; at least a liquid weir arranged below each first liquid nozzle below the transport level of the large-scale substrates; wherein the treating module further comprises at least an adjusting device for adjusting the transport device and the liquid weirs of the treating module. The present invention is further directed to a method for treating of large-scale substrates in a horizontal apparatus comprising among others such a treating module.
(FR)La présente invention se rapporte à un module de traitement d'un appareil pour le traitement horizontal chimique par voie humide de substrats à grande échelle, en particulier des substrats en verre, comprenant un boîtier avec un couvercle de boîtier; un dispositif de transport comprenant une pluralité d'éléments de transport pour le traitement horizontal de substrats à grande échelle, le module de traitement comprenant en outre au moins une première buse de liquide et au moins une buse de gaz agencées au-dessus du niveau de transport des substrats à grande échelle au niveau de l'entrée du module de traitement et au moins une autre première buse de liquide et au moins une autre buse de gaz agencées au-dessus du niveau de transport des substrats à grande échelle au niveau de la sortie du module de traitement pour accumuler un liquide de traitement à l'intérieur du module de traitement, chaque buse de gaz étant agencée plus à l'extérieur que la première buse de liquide; au moins un déversoir de liquide agencé au-dessous de chaque première buse de liquide au-dessous du niveau de transport des substrats à grande échelle; le module de traitement comprenant en outre au moins un dispositif d'ajustement permettant d'ajuster le dispositif de transport et les déversoirs de liquide du module de traitement. La présente invention se rapporte également à un procédé de traitement de substrats à grande échelle dans un appareil horizontal comprenant entre autres un tel module de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)