WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016095155) METHOD FOR PRODUCING A BONDED ARTICLE INCLUDING AN ULTRA-THIN SUBSTRATE AND BONDED ARTICLE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/095155    International Application No.:    PCT/CN2014/094196
Publication Date: 23.06.2016 International Filing Date: 18.12.2014
IPC:
G01N 21/17 (2006.01)
Applicants: SCHOTT GLASS TECHNOLOGIES (SUZHOU) CO. LTD. [CN/CN]; Huoju Rd. 79, Suzhou New District Suzhou, Jiangsu 215009 (CN)
Inventors: HOU, Yunfei; (CN).
QIAN, Pengxiang; (CN).
LIEBALD, Rainer; (DE)
Agent: SONDERHOFF & EINSEL (BEIJING) PATENT AGENCY OFFICE; Room 326 China World Office No.1 Jianguomenwai Avenue 1, Chaoyang District Beijing 100004 (CN)
Priority Data:
Title (EN) METHOD FOR PRODUCING A BONDED ARTICLE INCLUDING AN ULTRA-THIN SUBSTRATE AND BONDED ARTICLE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE LIÉ QUI COMPREND UN SUBSTRAT ULTRA-MINCE ET ARTICLE LIÉ
Abstract: front page image
(EN)A method for producing a bonded article (70) comprising providing an ultra-thin substrate (1), in particular an ultra-thin glass substrate, with a first surface (1.1) and a second surface (1.2), where the ultra-thin substrate (1) is at least partially transmissible to an electromagnetic inspection radiation, and providing a support substrate (60) having a first surface and a second surface. The method comprises laminating a dark-screen film (2) on the second surface of the ultra-thin substrate (1) to produce a laminated ultra-thin substrate prior to cleaning the first surface (1.1) of the ultra-thin substrate (1). After cleaning, the first surface (1.1) of the ultra-thin substrate (1) is inspected for impurities (27) by irradiating the first surface (1.1) with the electromagnetic inspection radiation and identifying impurities (27) by way of contrast between the irradiated impurities (27) and the dark-screen film (2). If a desired cleanliness has been reached, a bonded article (70) is produced by bonding the laminated ultra-thin substrate with its first surface to the first or second surface of the support substrate (60). A bonded article (70) and a method for inspecting a surface of an ultra-thin substrate for impurities (27) are also provided.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un article lié (70) qui comprend le fait de prévoir un substrat (1) ultra-mince, en particulier un substrat en verre ultra-mince, qui présente une première surface (1.1) et une seconde surface (1.2), le substrat ultra-mince (1) pouvant laisser passer au moins partiellement un rayonnement d'inspection électromagnétique, et le fait de prévoir un substrat de support (60) qui possède une première surface et une seconde surface. Le procédé comprend l'application d'un film-écran sombre (2) sur la seconde surface du substrat ultra-mince (1) afin de produire un substrat ultra-mince stratifié avant le nettoyage la première surface (1.1) du substrat ultra-mince (1). Après le nettoyage, la première surface (1.1) du substrat ultra-mince (1) est inspectée afin de détecter les impuretés (27) en irradiant la première surface (1.1) avec le rayonnement d'inspection électromagnétique et en identifiant les impuretés (27) au moyen d'un contraste entre les impuretés irradiées (27) et le film-écran sombre (2). Si un niveau de propreté souhaité a été atteint, un article lié (70) est fabriqué en liant le substrat ultra-mince stratifié et sa première surface à la première ou à la seconde surface du substrat de support (60). L'invention concerne en outre un article lié (70) et un procédé d'inspection d'une surface d'un substrat ultra-mince afin de détecter les impuretés (27).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)