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1. (WO2016094193) COMPENSATION FOR A DISTURBANCE IN AN OPTICAL SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/094193    International Application No.:    PCT/US2015/063802
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 03.12.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CYMER, LLC [US/US]; (a Nevada Company) 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413 (US)
Inventors: AHLAWAT, Rahul; (US)
Agent: NGUYEN, Joseph, A.; (US)
Priority Data:
14/565,016 09.12.2014 US
Title (EN) COMPENSATION FOR A DISTURBANCE IN AN OPTICAL SOURCE
(FR) COMPENSATION D'UNE PERTURBATION DANS UNE SOURCE OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)A pulsed light beam emitted from an optical source is received, the pulsed light beam being associated with a temporal repetition rate; a frequency of a disturbance in the optical source is determined, the frequency being an aliased frequency that varies with the temporal repetition rate of the pulsed light beam; a correction waveform is generated based on the aliased frequency; and the disturbance in the optical source is compensated by modifying a characteristic of the pulsed light beam based on the generated correction waveform.
(FR)La présente invention concerne un faisceau de lumière pulsée émis à partir d'une source optique qui est reçu, le faisceau de lumière pulsée étant associé à une fréquence de récurrence temporelle; une fréquence d'une perturbation dans la source optique est déterminée, la fréquence étant une fréquence de repliement qui varie avec la fréquence de récurrence temporelle du faisceau de lumière pulsée; une forme d'onde de correction est générée sur la base de la fréquence de repliement; et la perturbation dans la source optique est compensée en modifiant une caractéristique du faisceau de lumière pulsée sur la base de la forme d'onde de correction générée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)