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1. (WO2016093269) HIGH-FREQUENCY POWER SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/093269    International Application No.:    PCT/JP2015/084502
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 09.12.2015
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), H02M 7/48 (2007.01)
Applicants: DAIHEN CORPORATION [JP/JP]; 2-1-11, Tagawa, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5328512 (JP)
Inventors: KASAI Yoshinobu; (JP)
Agent: YOSHIDA Minoru; (JP)
Priority Data:
2014-252377 12.12.2014 JP
Title (EN) HIGH-FREQUENCY POWER SOURCE
(FR) SOURCE D'ÉNERGIE HAUTE FRÉQUENCE
(JA) 高周波電源
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a high-frequency power source that can output high-frequency electric power as a desired waveform that changes at high-speed. [Solution] A high-frequency power source 1 is provided with two DC-RF conversion units 4A, 4B, and an RF combining unit 5 for combining the both DC-RF conversion unit 4A, 4B outputs. The DC-RF conversion units 4A, 4B amplify, respectively, high-frequency voltages va, vb input from a high-frequency signal generating unit 8, and output high-frequency voltages vPA, vPB. The RF combining unit 5 outputs a high frequency voltage vPX proportionally corresponding to the phase difference θ of the high-frequency voltages vPA, vPB. A control unit 9 switches the phase difference θ between θ1 and θ2. Thus, the output electric power PX output by the RF combining unit 5 is a pulse high-frequency electric power having a high level period and a low level period. The switching of the phase difference θ can be carried out at high speed; therefore, pulse high-frequency electric power wherein the frequency of switching between a first level and a second level is made high can be output.
(FR)Le problème posé est de produire une source d'énergie haute fréquence qui peut délivrer en sortie une puissance électrique haute fréquence sous la forme d'une forme d'onde désirée qui change à vitesse élevée. La solution selon l'invention concerne une source d'énergie haute fréquence (1) pourvue de deux unités de conversion CC-RF (4A, 4B), et d'une unité de combinaison RF pour combiner les sorties des deux unités de conversion CC-RF (4A, 4B). Les unités de conversion CC-RF 4A, 4B amplifient, respectivement, des tensions haute fréquence va, vb introduites par une unité de génération de signal haute fréquence (8), et des tensions de sortie haute fréquence vPA, vPB. L'unité de combinaison RF (5) délivre en sortie une tension haute fréquence vPX correspondant proportionnellement à la différence de phase theta des tensions haute fréquence vPA, vPB. Une unité de commande (9) commute la différence de phase theta entre theta 1 et theta 2. Ainsi, la puissance électrique de sortie PX émise par l'unité de combinaison RF (5) est une puissance électrique d'impulsion à haute fréquence ayant une période de niveau haut et une période de niveau bas. La commutation de la différence de phase theta peut être effectuée à une vitesse élevée; il est, par conséquent, possible de délivrer en sortie la puissance électrique d'impulsion à haute fréquence, la fréquence de commutation entre un premier niveau et un second niveau étant élevée.
(JA)【課題】高周波電力を、高速に変化する所望の波形として出力することができる高周波電源を提供する。 【解決手段】高周波電源1は2つのDC-RF変換部4A,4Bと両DC-RF変換部4A,4Bの出力を合成するRF合成部5を備える。DC-RF変換部4A,4Bは、それぞれ、高周波信号生成部8から入力される高周波電圧va,vbを増幅して高周波電圧vPA,vPBを出力する。RF合成部5は高周波電圧vPA,vPBの位相差θに応じた割合で高周波電圧vPXを出力する。制御部9は、位相差θをθ1とθ2との間で切り替える。これにより、RF合成部5から出力される出力電力PXは、ハイレベル期間とローレベル期間とを有するパルス状の高周波電力になる。位相差θの切り替えは高速に行うことができるので、第1レベルと第2レベルとの切り替えの周波数を高くしたパルス状の高周波電力を出力することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)