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1. (WO2016092697) IMPRINTING DEVICE, IMPRINTING METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/092697    International Application No.:    PCT/JP2014/082972
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 12.12.2014
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), G01N 21/27 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: AIHARA Sentaro; (JP).
MINODA Ken; (JP)
Agent: ABE Takuma; (JP)
Priority Data:
Title (EN) IMPRINTING DEVICE, IMPRINTING METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'IMPRESSION, PROCÉDÉ D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLES
(JA) インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide an imprinting device capable of accurately detecting the surface state of a substrate even if the surface state of the substrate has changed. Disclosed is an imprinting device which causes a molding die and an imprinting material on a substrate to come into contact with each other, and which forms a pattern of the imprinting material on the substrate. The imprinting device is characterized by having a detection unit which irradiates the substrate with light, detects the state of the imprinting material on the substrate by optically detecting reflected light from the substrate, and switches detection conditions during an imprinting step.
(FR)La présente invention vise à pourvoir à un dispositif d'impression pouvant détecter avec précision l'état de la surface d'un substrat même si l'état de ladite surface a changé. L'invention concerne un dispositif d'impression qui provoque la mise en contact d'une filière et d'un matériau d'impression sur un substrat, et qui forme un motif du matériau d'impression sur le substrat. Le dispositif d'impression est caractérisé en ce qu'il possède une unité de détection qui expose le substrat à la lumière, détecte l'état du matériau d'impression sur le substrat par détection optique de la lumière réfléchie par le substrat, et change les conditions de détection au cours d'une étape d'impression.
(JA)本発明は、基板の表面状態が変化しても、精度良く基板の表面状態を検出することができるインプリント装置を提供することを目的とする。 本発明のインプリント装置は、基板上のインプリント材と型を接触させ、前記基板上に前記インプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板に光を照射し、前記基板からの反射光を光学的に検出することにより前記基板上の前記インプリント材の状態を検出し、インプリント工程中に検出条件を切替える検出部を、有することを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)