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1. (WO2016092642) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/092642    International Application No.:    PCT/JP2014/082611
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 10.12.2014
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/12 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: MIZUHARA Yuzuru; (JP).
YOKOSUKA Toshiyuki; (JP).
KAZUMI Hideyuki; (JP).
KUROSAWA Kouichi; (JP).
MYOCHIN Kenichi; (JP)
Agent: TODA Yuji; (JP)
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to reduce the amount of charged particles that are lost by colliding with the interior of a column of a charged particle beam device, and detect charged particles with high efficiency. To achieve this purpose, proposed is a charged particle beam device provided with: an objective lens (8) that focuses a charged particle beam; a detector (15) that is disposed between the objective lens and a charged particle source; a deflector (16) that deflects charged particles emitted from a sample such that the charged particles separate from the axis of the charged particle beam; and a plurality of electrodes (19) that are disposed between the deflector and the objective lens and that form a plurality of electrostatic lenses for focusing the charged particles emitted from the sample on a deflection point of the deflector.
(FR)La présente invention vise à réduire la quantité de particules chargées qui sont perdues par collision sur l'intérieur d'une colonne d'un dispositif à faisceau de particules chargées, et à détecter les particules chargées hautement efficaces. À cet effet, le dispositif à faisceau de particules chargées selon l'invention comporte : une lentille d'objectif (8) qui focalise un faisceau de particules chargées; un détecteur (15) qui est agencé entre la lentille d'objectif et une source de particules chargées; un déflecteur (16) qui dévie les particules chargées émises à partir d'un échantillon de telle manière que les particules chargées se séparent de l'axe du faisceau de particules chargées; et une pluralité d'électrodes (19) qui sont agencées entre le déflecteur et la lentille d'objectif et qui forment une pluralité de lentilles électrostatiques servant à focaliser les particules chargées émises à partir de l'échantillon sur un point de déviation du déflecteur.
(JA)本発明は、荷電粒子線装置のカラム内部に衝突して失われてしまう荷電粒子の量を抑制し、高効率に荷電粒子検出を行うことを目的とするものである。この目的を達成するために、荷電粒子ビームを集束する対物レンズ(8)と、当該対物レンズと前記荷電粒子源との間に配置される検出器(15)と、前記試料から放出された荷電粒子を前記荷電粒子ビームより離軸するように偏向する偏向器(16)と、当該偏向器と前記対物レンズとの間に配置され、前記偏向器の偏向点に向かって、前記試料から放出された荷電粒子を集束する複数の静電レンズを形成する複数の電極(19)を備えた荷電粒子線装置を提案する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)