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1. (WO2016092614) DEFECT INSPECTION DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND DEFECT CLASSIFICATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/092614    International Application No.:    PCT/JP2014/082419
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 08.12.2014
IPC:
G01N 21/88 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), H01J 37/24 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: HATANO Hisashi; (JP).
NAGOYA Koichi; (JP).
KOBAYASHI Mamoru; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; (JP)
Priority Data:
Title (EN) DEFECT INSPECTION DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND DEFECT CLASSIFICATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT, DISPOSITIF D'AFFICHAGE, ET DISPOSITIF DE CLASSIFICATION DE DÉFAUT
(JA) 欠陥検査装置、表示装置、及び欠陥分類装置
Abstract: front page image
(EN)A defect inspection device is provided with an illumination optical system for irradiating light or an electron beam onto a sample, a detector for detecting a signal obtained from the sample through the irradiation of the light or electron beam, a defect detection unit for detecting a defect candidate on the sample through the comparison of a signal output by the detector and a prescribed threshold, and a display unit for displaying a setting screen for setting the threshold. The setting screen is a two-dimensional distribution map that expresses the distribution of the defect candidates in a three dimensional feature value space having three feature values as the axes thereof and includes the axes of the three feature values and the threshold, which is expressed in one dimension.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection de défaut, qui comprend un système optique d'éclairage pour rayonner une lumière ou un faisceau d'électrons sur un échantillon, un détecteur pour détecter un signal obtenu à partir de l'échantillon par l'intermédiaire du rayonnement de la lumière ou du faisceau d'électrons, une unité de détection de défaut pour détecter un défaut candidat sur l'échantillon par l'intermédiaire de la comparaison d'un signal délivré par le détecteur et d'un seuil prescrit, et une unité d'affichage pour afficher un écran de réglage pour régler le seuil. L'écran de réglage est une carte de répartition bidimensionnelle qui exprime la répartition des défauts candidats dans un espace de valeurs caractéristiques en trois dimensions ayant trois valeurs caractéristiques comme axes de ce dernier, et comprend les axes des trois valeurs caractéristiques et le seuil, qui est exprimé dans une dimension.
(JA) 欠陥検査装置は、試料に光または電子線を照射する照明光学系と、前記光または電子線の照射により前記試料から得られる信号を検出する検出器と、前記検出器から出力される信号と所定の閾値とを比較することにより、前記試料上の欠陥候補を検出する欠陥検出部と、前記閾値を設定する設定画面を表示する表示部と、を備える。前記設定画面は、3つの特徴量を各軸とする3次元の特徴量空間における欠陥候補の分布を表し、かつ前記3つの特徴量の軸と1次元で表される前記閾値とを含む2次元分布図である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)