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1. (WO2016092368) PLASMA GENERATOR WITH AT LEAST ONE NON-METALLIC COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/092368    International Application No.:    PCT/IB2015/002449
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 08.12.2015
IPC:
H01J 27/08 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01)
Applicants: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. [JP/JP]; 575, Kuze-Tonoshiro-Cho Minami-Ku, Kyoto 601-8205 (JP)
Inventors: HORSKY, Thomas, N.; (US).
HAHTO, Sami, K.; (US)
Priority Data:
62/090,017 10.12.2014 US
14/961,021 07.12.2015 US
62/189,917 08.07.2015 US
Title (EN) PLASMA GENERATOR WITH AT LEAST ONE NON-METALLIC COMPONENT
(FR) GÉNÉRATEUR DE PLASMA COMPORTANT AU MOINS UN COMPOSANT NON MÉTALLIQUE
Abstract: front page image
(EN)A plasma generator (1401) for an ion implanter is provided. The plasma generator includes an ionization chamber (1410) for forming a plasma that is adapted to generate a plurality of ions and a plurality of electrons. An interior surface (1420) of the ionization chamber is exposed to the plasma and constructed from a first non-metallic material. The plasma generator may include a thermionic emitter (1420a,b) with at least one surface which may or may not be exposed to the plasma, or an electron gun for generating a secondary plasma. The thermionic emitter may be constructed from a second non-metallic material. The plasma generator further may include an exit aperture (1430) for extracting at least one of the plurality of ions or the plurality of electrons from the ionization chamber to form at least one of an ion beam or an electron flux. The ion beam or the electron flux comprises substantially no metal. The first and second non-metallic materials can be the same or different from each other.
(FR)L'invention concerne un générateur de plasma destiné à un implanteur ionique. Le générateur de plasma comprend une chambre d'ionisation permettant de former un plasma qui est conçu pour générer une pluralité d'ions et une pluralité d'électrons. Une surface intérieure de la chambre d'ionisation est exposée au plasma et est construite à partir d'un premier matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend également un émetteur thermo-ionique comprenant au moins une surface exposée au plasma. L'émetteur thermo-ionique est construit à partir d'un second matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend en outre une ouverture de sortie permettant d'extraire la pluralité d'ions et/ou la pluralité d'électrons à partir de la chambre d'ionisation pour former un faisceau d'ions et/ou un flux d'électrons. Le faisceau d'ions ou le flux d'électrons ne comprend sensiblement aucun métal. Les premier et second matériaux non métalliques peuvent être identiques ou différents l'un de l'autre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)