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1. (WO2016092007) CHAMBER FOR DEGASSING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/092007    International Application No.:    PCT/EP2015/079229
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 10.12.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: EVATEC AG [CH/CH]; Hauptstrasse 1a 9477 Trübbach (CH)
Inventors: WEICHART, Jürgen; (LI)
Agent: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Jacques Troesch Schwäntenmos 14 8126 Zumikon (CH)
Priority Data:
62/090,529 11.12.2014 US
Title (EN) CHAMBER FOR DEGASSING SUBSTRATES
(FR) CHAMBRE POUR DÉGAZAGE DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(EN)A heater or cooler chamber for a batch of more than one workpiece comprises a heat storage block (1). In the block a multitude of pockets (2) are provided, whereby each of the pockets (2) may be closed or opened by a controllably operated door. A heater or cooler arrangement (4) is applied. The pockets (2) are tailored to surround a workpiece applied therein in a non-contact closely spaced manner.
(FR)La présente invention concerne une chambre de dispositif de chauffage ou de refroidissement pour un lot de plus d'une pièce, ladite chambre comprenant un bloc de stockage thermique (1). Une multitude de poches (2) sont prévues dans le bloc, chacune des poches (2) pouvant être fermée ou ouverte par une porte actionnée de manière contrôlable. Un agencement de chauffage ou de refroidissement (4) est appliqué. Les poches (2) sont adaptées pour entourer une pièce appliquée dans celles-ci de manière étroitement espacée sans contact.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)